[發(fā)明專利]半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110372934.4 | 申請(qǐng)日: | 2011-11-08 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102956520A | 公開(公告)日: | 2013-03-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 易繼銘;劉安鴻;黃祥銘;李宜璋 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 南茂科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66 |
| 代理公司: | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人: | 陳亮 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)灣新竹科*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體 組件 堆棧 結(jié)構(gòu) 測(cè)試 方法 | ||
1.一種半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,包含下列步驟:
(a)提供一測(cè)試底板與一探針卡,所述測(cè)試底板包含多個(gè)測(cè)試接點(diǎn),所述探針卡包含多個(gè)探針,所述測(cè)試底板與所述探針卡分別連接至一測(cè)試裝置,以供發(fā)送及接收測(cè)試訊號(hào);
(b)提供一基板,所述基板設(shè)置于所述測(cè)試底板上,且所述基板包含有多個(gè)第一接觸點(diǎn)及第二接觸點(diǎn),所述多個(gè)第一接觸點(diǎn)與所述多個(gè)第二接觸點(diǎn)相應(yīng)電性導(dǎo)通,所述多個(gè)第一接觸點(diǎn)與所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)電性連接;
(c)提供多個(gè)半導(dǎo)體組件,各半導(dǎo)體組件具有多個(gè)第一電性接點(diǎn)及多個(gè)第二電性接點(diǎn),且所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)為對(duì)應(yīng)電性導(dǎo)通,自所述多個(gè)半導(dǎo)體組件中取出一個(gè)半導(dǎo)體組件,將所述半導(dǎo)體組件固接于所述基板上,使所述半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述基板的所述多個(gè)第二接觸點(diǎn)電性連接;
(d)繼續(xù)自所述多個(gè)半導(dǎo)體組件中取出另一個(gè)半導(dǎo)體組件,固接于前一個(gè)半導(dǎo)體組件上,并使后取出的半導(dǎo)體組件的多個(gè)第一電性接點(diǎn)與前一個(gè)半導(dǎo)體組件的第二電性接點(diǎn)電性連接;
(e)將所述探針卡的多個(gè)探針接觸后取出的半導(dǎo)體組件的多個(gè)第二電性接點(diǎn),藉以對(duì)后取出的半導(dǎo)體組件進(jìn)行電性測(cè)試;以及
(f)重復(fù)步驟(d)及步驟(e),直至所述多個(gè)半導(dǎo)體組件全部測(cè)試完畢。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,進(jìn)一步包含:在步驟(b)之后,將所述探針卡的所述多個(gè)探針接觸所述基板的所述多個(gè)第二接觸點(diǎn),藉以對(duì)所述基板進(jìn)行電性測(cè)試。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,進(jìn)一步包含:在步驟(d)之前,將所述探針卡的所述多個(gè)探針接觸所述基板上的所述半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第二電性接點(diǎn),藉以對(duì)所述半導(dǎo)體組件進(jìn)行電性測(cè)試。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,各半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)是藉由直通硅穿孔電極對(duì)應(yīng)連接導(dǎo)通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)為全部導(dǎo)通。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,所述測(cè)試底板的電位為零參考電位。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)為各自電性獨(dú)立。
8.一種半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,包含下列步驟:
(a)提供一測(cè)試底板與一探針卡,所述測(cè)試底板包含多個(gè)測(cè)試接點(diǎn),所述探針卡包含多個(gè)探針,所述測(cè)試底板與所述探針卡分別連接至一測(cè)試裝置,以供發(fā)送及接收測(cè)試訊號(hào);
(b)提供一基板,所述基板包含有多個(gè)第一接觸點(diǎn)及第二接觸點(diǎn),所述多個(gè)第一接觸點(diǎn)與所述多個(gè)第二接觸點(diǎn)相應(yīng)電性導(dǎo)通,其中所述等第一接觸點(diǎn)用以供所述探針卡進(jìn)行探觸;
(c)提供多個(gè)半導(dǎo)體組件,各半導(dǎo)體組件具有多個(gè)第一電性接點(diǎn)及多個(gè)第二電性接點(diǎn),且所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)為對(duì)應(yīng)電性導(dǎo)通,自所述多個(gè)半導(dǎo)體組件中取出一個(gè)半導(dǎo)體組件,將所述半導(dǎo)體組件固接于所述基板上,使所述半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述基板的所述多個(gè)第二接觸點(diǎn)電性連接;
(d)繼續(xù)自所述多個(gè)半導(dǎo)體組件中取出另一個(gè)半導(dǎo)體組件,固接于前一個(gè)半導(dǎo)體組件上,并使后取出的半導(dǎo)體組件的多個(gè)第一電性接點(diǎn)與前一個(gè)半導(dǎo)體組件的第二電性接點(diǎn)電性連接;
(e)將所述后取出的半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)與所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)電性連接,并將所述探針卡的所述多個(gè)探針接觸所述基板的所述多個(gè)第一接觸點(diǎn),藉以對(duì)后取出的半導(dǎo)體組件進(jìn)行電性測(cè)試;以及
(f)重復(fù)步驟(d)及步驟(e),直至所述多個(gè)半導(dǎo)體組件全部測(cè)試完畢。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,進(jìn)一步包含:在步驟(d)之前,將所述半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)與所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)電性連接,并將所述探針卡的所述多個(gè)探針接觸所述基板的所述多個(gè)第一接觸點(diǎn),藉以對(duì)所述半導(dǎo)體組件進(jìn)行電性測(cè)試。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,各半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)是藉由直通硅穿孔電極對(duì)應(yīng)連接導(dǎo)通。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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