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[發(fā)明專利]半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201110372934.4 申請(qǐng)日: 2011-11-08
公開(公告)號(hào): CN102956520A 公開(公告)日: 2013-03-06
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 易繼銘;劉安鴻;黃祥銘;李宜璋 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 南茂科技股份有限公司
主分類號(hào): H01L21/66 分類號(hào): H01L21/66
代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 代理人: 陳亮
地址: 中國(guó)臺(tái)灣新竹科*** 國(guó)省代碼: 中國(guó)臺(tái)灣;71
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 組件 堆棧 結(jié)構(gòu) 測(cè)試 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,包含下列步驟:

(a)提供一測(cè)試底板與一探針卡,所述測(cè)試底板包含多個(gè)測(cè)試接點(diǎn),所述探針卡包含多個(gè)探針,所述測(cè)試底板與所述探針卡分別連接至一測(cè)試裝置,以供發(fā)送及接收測(cè)試訊號(hào);

(b)提供一基板,所述基板設(shè)置于所述測(cè)試底板上,且所述基板包含有多個(gè)第一接觸點(diǎn)及第二接觸點(diǎn),所述多個(gè)第一接觸點(diǎn)與所述多個(gè)第二接觸點(diǎn)相應(yīng)電性導(dǎo)通,所述多個(gè)第一接觸點(diǎn)與所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)電性連接;

(c)提供多個(gè)半導(dǎo)體組件,各半導(dǎo)體組件具有多個(gè)第一電性接點(diǎn)及多個(gè)第二電性接點(diǎn),且所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)為對(duì)應(yīng)電性導(dǎo)通,自所述多個(gè)半導(dǎo)體組件中取出一個(gè)半導(dǎo)體組件,將所述半導(dǎo)體組件固接于所述基板上,使所述半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述基板的所述多個(gè)第二接觸點(diǎn)電性連接;

(d)繼續(xù)自所述多個(gè)半導(dǎo)體組件中取出另一個(gè)半導(dǎo)體組件,固接于前一個(gè)半導(dǎo)體組件上,并使后取出的半導(dǎo)體組件的多個(gè)第一電性接點(diǎn)與前一個(gè)半導(dǎo)體組件的第二電性接點(diǎn)電性連接;

(e)將所述探針卡的多個(gè)探針接觸后取出的半導(dǎo)體組件的多個(gè)第二電性接點(diǎn),藉以對(duì)后取出的半導(dǎo)體組件進(jìn)行電性測(cè)試;以及

(f)重復(fù)步驟(d)及步驟(e),直至所述多個(gè)半導(dǎo)體組件全部測(cè)試完畢。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,進(jìn)一步包含:在步驟(b)之后,將所述探針卡的所述多個(gè)探針接觸所述基板的所述多個(gè)第二接觸點(diǎn),藉以對(duì)所述基板進(jìn)行電性測(cè)試。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,進(jìn)一步包含:在步驟(d)之前,將所述探針卡的所述多個(gè)探針接觸所述基板上的所述半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第二電性接點(diǎn),藉以對(duì)所述半導(dǎo)體組件進(jìn)行電性測(cè)試。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,各半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)是藉由直通硅穿孔電極對(duì)應(yīng)連接導(dǎo)通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)為全部導(dǎo)通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,所述測(cè)試底板的電位為零參考電位。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)為各自電性獨(dú)立。

8.一種半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,包含下列步驟:

(a)提供一測(cè)試底板與一探針卡,所述測(cè)試底板包含多個(gè)測(cè)試接點(diǎn),所述探針卡包含多個(gè)探針,所述測(cè)試底板與所述探針卡分別連接至一測(cè)試裝置,以供發(fā)送及接收測(cè)試訊號(hào);

(b)提供一基板,所述基板包含有多個(gè)第一接觸點(diǎn)及第二接觸點(diǎn),所述多個(gè)第一接觸點(diǎn)與所述多個(gè)第二接觸點(diǎn)相應(yīng)電性導(dǎo)通,其中所述等第一接觸點(diǎn)用以供所述探針卡進(jìn)行探觸;

(c)提供多個(gè)半導(dǎo)體組件,各半導(dǎo)體組件具有多個(gè)第一電性接點(diǎn)及多個(gè)第二電性接點(diǎn),且所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)為對(duì)應(yīng)電性導(dǎo)通,自所述多個(gè)半導(dǎo)體組件中取出一個(gè)半導(dǎo)體組件,將所述半導(dǎo)體組件固接于所述基板上,使所述半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述基板的所述多個(gè)第二接觸點(diǎn)電性連接;

(d)繼續(xù)自所述多個(gè)半導(dǎo)體組件中取出另一個(gè)半導(dǎo)體組件,固接于前一個(gè)半導(dǎo)體組件上,并使后取出的半導(dǎo)體組件的多個(gè)第一電性接點(diǎn)與前一個(gè)半導(dǎo)體組件的第二電性接點(diǎn)電性連接;

(e)將所述后取出的半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)與所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)電性連接,并將所述探針卡的所述多個(gè)探針接觸所述基板的所述多個(gè)第一接觸點(diǎn),藉以對(duì)后取出的半導(dǎo)體組件進(jìn)行電性測(cè)試;以及

(f)重復(fù)步驟(d)及步驟(e),直至所述多個(gè)半導(dǎo)體組件全部測(cè)試完畢。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,進(jìn)一步包含:在步驟(d)之前,將所述半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)與所述測(cè)試底板的所述多個(gè)測(cè)試接點(diǎn)電性連接,并將所述探針卡的所述多個(gè)探針接觸所述基板的所述多個(gè)第一接觸點(diǎn),藉以對(duì)所述半導(dǎo)體組件進(jìn)行電性測(cè)試。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體組件堆棧結(jié)構(gòu)測(cè)試方法,其特征在于,各半導(dǎo)體組件的所述多個(gè)第一電性接點(diǎn)與所述多個(gè)第二電性接點(diǎn)是藉由直通硅穿孔電極對(duì)應(yīng)連接導(dǎo)通。

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