1.一種用于晶圓級測試的探針卡，包括：

空間轉(zhuǎn)換器，所述空間轉(zhuǎn)換器中置入電源線，接地線，和信號線，其中所述間隔變壓器包括多條導(dǎo)線，所述導(dǎo)線具有在第一表面上的第一間距和在第二表面上的第二間距，所述第二間距基本上小于所述第一間距；

印刷電路板，將所述印刷電路板接近所述空間轉(zhuǎn)換器的所述第一表面配置；以及

電源層，所述電源層設(shè)置在所述空間轉(zhuǎn)換器的所述第一表面上，并且將所述電源層圖案化，使所述空間轉(zhuǎn)換器的所述電源線和所述接地線與所述印刷電路板連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其中所述電源層包括銅箔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，還包括被配置成使所述空間轉(zhuǎn)換器的所述信號線與所述印刷電路板連接的焊球。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，還包括設(shè)置在所述印刷電路板上的額外的電源層，將所述額外的電源層圖案化，使所述額外的電源層與所述空間轉(zhuǎn)換器的所述電源線和所述接地線連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，還包括形成在所述空間轉(zhuǎn)換器上并且與所述空間轉(zhuǎn)換器的所述電源線和所述接地線連接的高頻匹配電路。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，還包括設(shè)置在所述空間轉(zhuǎn)換器和所述印刷電路板之間的中介層，所述中介層用于將所述空間轉(zhuǎn)換器的所述電源線和所述接地線與所述印刷電路板連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，還包括柔性薄膜電路，所述柔性薄膜電路具有：設(shè)置在所述印刷電路板和所述中介層之間的第一端；和設(shè)置在所述空間轉(zhuǎn)換器和所述中介層之間的第二端。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，還包括柔性薄膜電路，所述柔性薄膜電路具有：設(shè)置在所述空間轉(zhuǎn)換器和所述中介層之間的第一端；和設(shè)置在所述印刷電路板的頂表面上的第二端。

9.一種用于晶圓級測試的探針卡，包括：

空間轉(zhuǎn)換器，所述空間轉(zhuǎn)換器中置入了電源線，接地線，和信號線，其中所述間隔變壓器包括具有第一間距的第一表面和具有第二間距的第二表面，所述第二間距基本上小于所述第一間距；

印刷電路板，所述印刷電路板配置為接近所述空間轉(zhuǎn)換器的所述第一表面；以及

第一電源層，所述第一電源層設(shè)置在所述空間轉(zhuǎn)換器的所述第一表面上，并且圖案化所述第一電源層，使所述電源線和所述接地線與所述印刷電路板連接；以及

第二電源層，所述第二電源層設(shè)置在所述印刷電路板的表面上并且被圖案化，使所述空間轉(zhuǎn)換器的所述電源線和所述接地線與所述印刷電路板連接，其中所述第二電源層與所述第一電源層接合。

10.一種晶圓測試系統(tǒng)，包括：

被設(shè)計用于測試晶圓的探針卡，所述探針卡包括：

其內(nèi)置入了電源線、接地線、和信號線的空間轉(zhuǎn)換器，其中所述空間轉(zhuǎn)換器包括多條導(dǎo)線，所述導(dǎo)線具有在第一表面上的第一間距和在第二表面上的第二間距，所述第二間距基本上小于所述第一間距，

配置在接近所述空間轉(zhuǎn)換器的所述第一表面的印刷電路板；和

設(shè)置在所述空間轉(zhuǎn)換器的所述第一表面上的第一電源層，所述第一電源層被圖案化，使所述電源線和所述接地線與所述印刷電路板連接；

晶圓檢測器，所述晶圓檢測器設(shè)計成在晶圓測試過程中固定待測試的晶圓和控制所述探針卡；和

通過連接電纜與所述探針卡連接的測試儀。