技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路領(lǐng)域，具體而言，涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光方法。

背景技術(shù)

在集成電路的制造過(guò)程中，隨著特征尺寸的縮小和金屬互連層數(shù)的增加，對(duì)晶圓表面平整度的要求也越來(lái)越高。目前，化學(xué)機(jī)械拋光是最有效的全局平坦化技術(shù)。化學(xué)機(jī)械拋光是將晶圓由旋轉(zhuǎn)的拋光頭夾持，并將其以一定壓力壓在旋轉(zhuǎn)的拋光墊上，由磨粒和化學(xué)溶液組成的拋光液在晶圓和拋光墊之間流動(dòng)，晶圓表面在化學(xué)和機(jī)械的共同作用下實(shí)現(xiàn)平坦化。在已有的化學(xué)機(jī)械拋光方法中，存在拋光墊使用壽命短的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。

發(fā)明人經(jīng)過(guò)深入研究后發(fā)現(xiàn)了已有的化學(xué)機(jī)械拋光方法中拋光墊使用壽命短的原因：在對(duì)兩片晶圓進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的間隙、以及在對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備進(jìn)行維護(hù)時(shí)，拋光墊會(huì)變的干燥。由于干燥的拋光墊的表面是硬的，因此利用干燥的拋光墊進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光不僅會(huì)影響化學(xué)機(jī)械拋光效果，而且大大地降低了拋光墊的使用壽命。

為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種可以大大地延長(zhǎng)拋光墊的使用壽命的化學(xué)機(jī)械拋光方法。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例提出一種化學(xué)機(jī)械拋光方法，所述化學(xué)機(jī)械拋光方法包括：A)利用拋光頭夾持晶圓以在拋光墊上對(duì)所述晶圓進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光；和B)在所述化學(xué)機(jī)械拋光停止期間向所述拋光墊噴水以對(duì)所述拋光墊保濕。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光方法通過(guò)在所述化學(xué)機(jī)械拋光停止期間向所述拋光墊噴水以便對(duì)所述拋光墊保濕，從而可以在開(kāi)始進(jìn)行所述化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，使所述拋光墊處于濕潤(rùn)的狀態(tài)，這樣所述拋光墊的表面是柔軟的。換言之，所述化學(xué)機(jī)械拋光始終在濕潤(rùn)的所述拋光墊上進(jìn)行。因此，所述化學(xué)機(jī)械拋光方法不僅可以提高化學(xué)機(jī)械拋光的效果，而且可以大大地延長(zhǎng)所述拋光墊的使用壽命。在利用已有的化學(xué)機(jī)械拋光方法進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，拋光墊的使用壽命大約為2000片次。在利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光方法進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，拋光墊200的使用壽命可以達(dá)到2500片次。

另外，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光方法可以具有如下附加的技術(shù)特征：

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述水為去離子水，這樣可以避免在所述噴水的過(guò)程中將雜質(zhì)引到所述拋光墊上。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，當(dāng)所述化學(xué)機(jī)械拋光停止的時(shí)間超過(guò)預(yù)定長(zhǎng)的時(shí)間段時(shí)向所述拋光墊噴水。這樣可以在不影響化學(xué)機(jī)械拋光效果、不縮短所述拋光墊的使用壽命的情況下，減少水的使用量，減低生產(chǎn)成本。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述預(yù)定長(zhǎng)的時(shí)間段為至少5分鐘。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，在緊接所述化學(xué)機(jī)械拋光開(kāi)始之前向所述拋光墊噴水。這樣可以使所述拋光墊的含水量達(dá)到最大、并使所述拋光墊的表面最柔軟，從而可以進(jìn)一步提高化學(xué)機(jī)械拋光的效果、進(jìn)一步延長(zhǎng)所述拋光墊的使用壽命。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述噴水連續(xù)地進(jìn)行。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述噴水至少持續(xù)5秒。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，在所述噴水期間所述拋光墊的旋轉(zhuǎn)速度不大于60轉(zhuǎn)/分鐘。這樣不僅可以將所述水均勻地噴到整個(gè)所述拋光墊上，而且可以避免將向所述拋光墊噴射的水折射出去，并且不會(huì)使所述拋光墊上的水離開(kāi)所述拋光墊。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，在所述噴水期間所述水的流量不大于6升/分鐘。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，在所述噴水期間所述水的流量不大于3升/分鐘。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

附圖說(shuō)明

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光方法對(duì)晶圓進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的示意圖；和

圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。