[發(fā)明專利]化學機械拋光方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110264347.3 | 申請日： | 2011-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN102294649A | 公開（公告）日： | 2011-12-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 路新春;王同慶 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械拋光 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種化學機械拋光方法，其特征在于，包括：
A)利用拋光頭夾持晶圓以在拋光墊上對所述晶圓進行化學機械拋光；和
B)在所述化學機械拋光停止期間向所述拋光墊噴水以對所述拋光墊保濕。
2.根據(jù)權利要求1所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述水為去離子水。
3.根據(jù)權利要求1所述的化學機械拋光方法，其特征在于，當所述化學機械拋光停止的時間超過預定長的時間段時向所述拋光墊噴水。
4.根據(jù)權利要求3所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述預定長的時間段為至少5分鐘。
5.根據(jù)權利要求1所述的化學機械拋光方法，其特征在于，在緊接所述化學機械拋光開始之前向所述拋光墊噴水。
6.根據(jù)權利要求1所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述噴水連續(xù)地進行。
7.根據(jù)權利要求6所述的化學機械拋光方法，其特征在于，所述噴水至少持續(xù)5秒。
8.根據(jù)權利要求1所述的化學機械拋光方法，其特征在于，在所述噴水期間所述拋光墊的旋轉速度不大于60轉/分鐘。
9.根據(jù)權利要求2所述的化學機械拋光方法，其特征在于，在所述噴水期間所述水的流量不大于6升/分鐘。
10.根據(jù)權利要求9所述的化學機械拋光方法，其特征在于，在所述噴水期間所述水的流量不大于3升/分鐘。
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