技術領域

本發明涉及一種多注陰極組件的制備方法，尤其是涉及一種多注行波管陰極可伐熱屏的制備方法，屬于陰極組件制備技術領域。?

背景技術

多注行波管是在大功率行波管的基礎上，將多電子注技術、寬帶技術、周期永磁聚焦和高發射密度陰極等結合在一起而發展起來的一種新穎的大功率微波真空電子器件。其具有導流系數高、工作電壓低、體積、重量小、頻帶寬、頻率和增益高等優點。這些特點使它成為一種低工作電壓、緊湊型的大功率微波放大器件，是現在大功率微波電子系統的發射機末級功率放大器最有競爭力的器件之一。?

現在的多注行波管幾乎都是基于諧振腔基模工作的，研制中需要解決許多理論技術、工藝等方面問題，其中，最關鍵的技術問題之一是制備具有高發射電流密度的陰極組件，尤其是彈載多注行波管對陰極組件的要求更加苛刻，它不但要求陰極組件具有高發射電流密度，還要求陰極組件具有耐振動、耐沖擊以及高可靠等特點。而對陰極熱屏零件來講，不但需要滿足熱子組件在低溫狀態下陰極能夠正常工作，而且還需要零件具有優化結構，因此熱屏零件需要具有高的熱屏蔽效果、合理結構、高精度和高機械性能。?

發明內容

為解決現有技術的不足，本發明的目的在于提供一種具有高精度、高機械性能、結構合理且熱屏蔽效果高的多注行波管陰極可伐熱屏的制備方法。?

為達到上述目的，本發明是通過以下的技術方案來實現的：?

一種多注行波管陰極可伐熱屏的制備方法，對可伐毛坯零件先進行氫氣退火處理，以消除應力，降低硬度、穩定尺寸，增加可塑性，采用高精度的模具保證沖壓、旋壓、車加工和電火花加工，然后將加工好的零件經過化學處理去除由機械加工帶來的雜質和油漬，最后把清洗后的零件經過真空高頻退火處理，進一步凈化零件，同時去除零件表面吸附的氣體，提高零件的光潔度，得到高精度、高熱屏蔽效率的多注陰極可伐熱屏，具體包括以下步驟：

（1）對可伐片材進行可伐毛坯加工：首先將可伐片材切割成滿足加工要求的條帶，然后將條帶沖切成圓片并去除圓片周邊的毛刺；

（2）在超聲波中清洗可伐毛坯零件：對步驟（1）加工后的可伐毛坯零件進行超聲波清洗，然后進行脫水及干燥；

（3）酸洗拋光：將步驟（2）干燥后的可伐毛坯零件放入化學拋光溶液中進行酸洗拋光，然后進行清洗、脫水和干燥處理；

（4）對可伐毛坯零件進行氫氣退火處理：將步驟（3）中處理好的可伐毛坯零件放入鉭筒中，然后將鉭筒放在高頻爐的工件托架上，并放好鐘罩，進行真空高頻氫氣退火處理；

（5）旋壓處理：用頂針經襯套將步驟（4）經過氫氣退火處理的可伐毛坯零件壓緊到一次旋壓夾具上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，啟動車床，調整可伐毛坯零件位置，使其圓心與一次旋壓夾具端面圓心在一條直線上，然后用黃銅旋壓棒緊靠在車床附加柱子上，使黃銅旋壓棒圓端緊壓在可伐毛坯零件右側，隨著車床轉軸旋轉，緩慢地將可伐毛坯零件旋壓在一次旋壓夾具上，旋壓結束后，松開夾具，取下一次旋壓形成的可伐毛坯零件，然后再重復上述步驟（2）、（3）、（4），且進行二次旋壓，用頂針經襯套將完成一次旋壓的可伐毛坯零件緊固到二次旋壓夾具上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，啟動車床，然后用黃銅旋壓棒緊靠在車床附加柱子上，使黃銅旋壓棒圓端緊壓在可伐毛坯零件右側，隨著車床轉軸旋轉，緩慢地將可伐毛坯零件旋壓在二次旋壓夾具夾具上，旋壓結束后，松開夾具，取下二次旋壓形成的可伐毛坯，且二次旋壓后重復步驟（4）；

（6）對可伐毛坯零件進行車加工處理：將可伐毛坯零件放到鏜加工卡頭夾具上，車削可伐毛坯零件的端面尺寸和外徑尺寸，并磨鈍銳邊，車加工完成后去除毛刺，并重復步驟（2）、（3）；

（7）檢測可伐毛坯零件尺寸：通過塞規檢測零件尺寸，并放大檢測零件是否有毛刺；

（8）加工槽：通過電火花加工8或12個槽，并檢測槽的尺寸，然后重復步驟（2）和步驟（3）；

（9）真空高頻退火處理：將經過步驟（8）處理過的零件進行兩級真空高頻退火處理后得到多注行波管陰極可伐熱屏。

其中，步驟（2）所述的超聲波的震蕩頻率為17.5～23.5KHz，清洗時間為15～20min，且清洗結束后的電阻大于2MΩ，且通過無水乙醇進行3-5s的脫水處理，而干燥條件為干燥溫度75～85°C、干燥時間為10～45min。?

步驟（3）所述的化學拋光溶液包括硫酸、硝酸和醋酸，且硫酸、硝酸和醋酸的體積比為：5±0.2：300±10：700±15。?