[發(fā)明專利]具有分離點火階段的點火階段晶閘管有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201080044032.1 | 申請日: | 2010-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN102668088A | 公開(公告)日: | 2012-09-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 烏韋·凱爾納-沃爾德華森;迪特·西爾柏;埃斯瓦爾-庫馬爾·丘考盧里 | 申請(專利權(quán))人: | 英飛凌科技雙極有限責任合伙公司 |
| 主分類號: | H01L29/74 | 分類號: | H01L29/74;H01L31/111;H01L29/06 |
| 代理公司: | 北京中譽威圣知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11279 | 代理人: | 叢芳;彭曉玲 |
| 地址: | 德國*** | 國省代碼: | 德國;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 具有 分離 點火 階段 晶閘管 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種點火階段晶閘管。
背景技術(shù)
在晶閘管中存在一個這樣的問題:在反向阻斷時間(engl.:reverse?recovery?time)內(nèi),如果在負極上出現(xiàn)了一個相對于正極的正電勢,那么在流通方向上就會出現(xiàn)快速的電壓升高現(xiàn)象,這樣一來,晶閘管就可能會損壞。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,
本發(fā)明的任務(wù)在于:提供一個點火階段晶閘管,在反向阻斷時間內(nèi)出現(xiàn)電壓快速升高的情況下,這種晶閘管能夠得到更好的保護。
上述任務(wù)可通過一種根據(jù)權(quán)利要求1的晶閘管來解決。本發(fā)明的設(shè)計方案和改進方案是后面權(quán)利要求的對象。
這種晶閘管具有一個半導體,在這個半導體中,在一個垂直方向上從后到前分別設(shè)置了一個P型雜質(zhì)的發(fā)射極,一個n型雜質(zhì)的基底,一個p型雜質(zhì)的基底和一個n型雜質(zhì)的發(fā)射極。另外,還設(shè)置了一個具有至少一個點火階段的點火階段結(jié)構(gòu),其中,每個點火階段包含一個與p型雜質(zhì)的發(fā)射極成一定間距的n型雜質(zhì)的點火階段發(fā)射極,這個所述的n型雜質(zhì)的發(fā)射極被嵌入在p型雜質(zhì)的基底中。一個電極,其前側(cè)連接著一個點火階段發(fā)射極,并與該發(fā)射極具有一個第一接觸面,與此同時,這個電極還與p型雜質(zhì)的基底相連,這個p型雜質(zhì)的基底位于另一點火階段發(fā)射極的與n型雜質(zhì)的發(fā)射極相對的一側(cè),后一點火階段發(fā)射極的前側(cè)位于一個第二接觸面上。其中,無論是第二接觸面還是第一接觸面,都與其中之一的點火階段發(fā)射極成一定間距。
在傳統(tǒng)的點火階段晶閘管中,相應的第一和第二接觸面是相互緊挨著的,構(gòu)成了一個連續(xù)的平面,其中,位于p型雜質(zhì)基底與涉及到的n型雜質(zhì)的點火階段發(fā)射極的與n型雜質(zhì)的主發(fā)射極相對的一側(cè)之間的pn-過渡區(qū)處在上述連續(xù)平面的前側(cè),與之不同的是,在根據(jù)本發(fā)明所述的晶閘管中,在至少一個n型雜質(zhì)的點火階段發(fā)射極中,第二接觸面與該n型雜質(zhì)的點火階段發(fā)射極是成一定間距的。另一重要特點是:在至少一個n型雜質(zhì)的點火階段發(fā)射極中,接觸面位于該n型雜質(zhì)點火階段發(fā)射極和p型雜質(zhì)基底(這個基底位于n型雜質(zhì)點火階段發(fā)射極的與n型雜質(zhì)主發(fā)射極相對的一側(cè))之間,并與之成一定間距。
因此,存在這樣的可能性:相對于傳統(tǒng)的晶閘管,p型雜質(zhì)基底的局部的凈-摻雜物-濃度會提高到涉及到的n型雜質(zhì)點火階段發(fā)射極的范圍內(nèi),這會導致位于涉及到的n型雜質(zhì)點火階段發(fā)射極下部的,由p型雜質(zhì)基底、n型雜質(zhì)基底以及p型雜質(zhì)發(fā)射極構(gòu)成的pnp-晶體管的放大因子βpnp的升高。在反向阻斷時間內(nèi),所述的放大因子βpnp的升高現(xiàn)象會導致涉及到的點火階段區(qū)域內(nèi)剩余等離子體濃度的升高。由此,在前進方向上出現(xiàn)電壓波動(時間導數(shù)超過規(guī)定的極限值)的情況下,在點火階段的區(qū)域內(nèi),即可成功實現(xiàn)晶閘管的點火。
與此同時,在涉及到的n型雜質(zhì)點火階段發(fā)射極的區(qū)域內(nèi),p型雜質(zhì)基底的凈-摻雜物-濃度的提高,還會導致p型雜質(zhì)基底的電阻的局部減小。因此,為了在規(guī)定的電流條件下對將點火階段點火,必須根據(jù)半導體的材料在一個方向上,在一個大約垂直的方向上,在p型雜質(zhì)基底的一個片段上設(shè)置一個精確的最低電壓,例如0.7V至0.8V,上述片段位于涉及到的n型雜質(zhì)點火階段發(fā)射極和涉及到的電極的共同區(qū)域內(nèi)。在傳統(tǒng)的晶閘管中,在涉及到的n型雜質(zhì)點火階段發(fā)射極的區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)的凈-摻雜物-濃度的提高,會導致:只有在更高的電流作用下,才會實現(xiàn)規(guī)定的最低電壓,這也是不被希望的,因為由此會導致晶閘管的特性發(fā)生改變。
在本發(fā)明所述的晶閘管中,只要第二接觸面與相應的n型雜質(zhì)的點火階段發(fā)射極成一定間距,那么,為實現(xiàn)規(guī)定最低電壓所需的p型雜質(zhì)基底的決定性的區(qū)域以及相應的電阻數(shù)值都會變大,這樣一來,在涉及到的n型雜質(zhì)點火階段發(fā)射極的區(qū)域中出現(xiàn)的p型雜質(zhì)基底的凈-摻雜物-濃度的提高就能被平衡掉。
附圖說明
下面將通過附圖中的結(jié)構(gòu)示例對本發(fā)明進行闡述說明。其中:
圖1是晶閘管的一個縱斷面示意圖,該圖中,在n型雜質(zhì)的點火階段發(fā)射極的區(qū)域內(nèi),p型雜質(zhì)基底的凈-摻雜物-濃度局部提高了;
圖2是圖1所示晶閘管的一個放大剖面圖;
圖3A是位于第二點火階段區(qū)域內(nèi)的圖1和2所示晶閘管的一個剖面圖,其中示出了三條相互垂直的軸線,沿軸線方向,半導體的凈-摻雜物濃度具有不同的曲線走向;
圖3B是凈-摻雜物濃度的一個曲線走向示例圖,沿圖3A所示的軸線a1;
圖3C是凈-摻雜物濃度的一個曲線走向示例圖,沿圖3A所示的軸線a2;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L29-00 專門適用于整流、放大、振蕩或切換,并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的半導體器件;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘,例如PN結(jié)耗盡層或載流子集結(jié)層的電容器或電阻器;半導體本體或其電極的零部件
H01L29-02 .按其半導體本體的特征區(qū)分的
H01L29-40 .按其電極特征區(qū)分的
H01L29-66 .按半導體器件的類型區(qū)分的
H01L29-68 ..只能通過對一個不通有待整流、放大或切換的電流的電極供給電流或施加電位方可進行控制的
H01L29-82 ..通過施加于器件的磁場變化可控的





