技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及玻璃板的檢查。?

術(shù)語定義?

用在本實用新型說明書和權(quán)利要求中的如下術(shù)語，將具有如下含義：?

“缺陷”總地表示在玻璃板表面或內(nèi)部的顆粒和瑕疵。?

“玻璃板”表示單獨的玻璃片或者從單獨的玻璃片上分離出來的玻璃條，其取決于檢查系統(tǒng)的特定應(yīng)用，即該系統(tǒng)是用于檢查玻璃條，還是用于檢查從玻璃條中分離出來的單獨的玻璃片。?

“光束”通常表示電磁輻射，其包括可見光和非可見光范圍的輻射。?

“行掃描照相機”表示具有由像素組成的光敏區(qū)域的檢測器，其光敏區(qū)域的長度L至少是該區(qū)域?qū)挾萕的10倍。行掃描照相機包括延時積分(TDI)照相機(也被稱為時域積分照相機)，其L/W的比值大于10。?

背景技術(shù)

玻璃板常用作顯示領(lǐng)域中的基板，如液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器中，其需要表面基本上沒有1微米及以上尺寸的缺陷。據(jù)此，需要付出額外的努力去尋找有效的方法來檢查玻璃板的這種缺陷。?

缺陷尺寸很小，在檢查中正常使用的波長處玻璃板是透明的，玻璃板很薄(如在顯示應(yīng)用中是0.2至1.2毫米量級)，這些情況給檢查帶來了挑戰(zhàn)性問題。更進一步，由于平板顯示器的需求增加，玻璃制造生產(chǎn)線的數(shù)量也增加。因此，檢查裝置的需求也增加，從而使得所述裝置的成本和復(fù)雜性作為評價一個系統(tǒng)的適合性的重要考慮。?

如下述公開，本實用新型提供了一種檢查系統(tǒng)，其符合可靠檢查顯示器玻璃的相關(guān)性能標(biāo)準(zhǔn)，其中采用了相對便宜的光學(xué)元件，可以容易地安裝到一個緊密的器件中，其可在制造設(shè)置中輕松地配置。?

實用新型內(nèi)容

依據(jù)本實用新型的第1方面，公開了一種用于檢查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的裝置，其中包括：?

(A)光源，其照射玻璃板的一部分；?

(B)行掃描照相機，其檢測從玻璃板上或玻璃板內(nèi)的缺陷散射的光，該行掃描照相機包括多個像素，其形成具有長度L和寬度W的光敏區(qū)域；以及?

(C)光學(xué)系統(tǒng)，其將從缺陷散射的光傳輸?shù)叫袙呙枵障鄼C，該光學(xué)系統(tǒng)具有數(shù)值孔徑NA并且包括：?

(i)主凹面反射鏡，其具有第一部分和第二部分，該反射鏡具有曲率半徑R；和?

(ii)凸面次反射鏡；?

其中：?

(a)從缺陷散射的光經(jīng)過光路到達行掃描照相機，該光路包括來自凹面主反射鏡的第一部分的反射、來自凸面次反射鏡的反射以及來自凹面主反射鏡的第二部分的反射；?

(b)主和次反射鏡的曲率中心基本重合，并且次反射鏡的半徑基本上等于主反射鏡的半徑的一半；以及?

(c)L、W和R滿足下列關(guān)系：?

L/R≤0.25；和?

對于NA≥0.10，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.046；和?

對于NA≥0.12，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.033；和?

對于NA≥0.15，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.020。?

依據(jù)本實用新型的第2方面，公開了一種用于檢查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的裝置，其中包括：?

(A)光源，其照射玻璃板的一部分；?

(B)行掃描照相機，其檢測從玻璃板上或玻璃板內(nèi)的缺陷散射的光，該行掃描照相機包括多個像素，其形成具有長度L和寬度W的光敏區(qū)域；以及?

(C)光學(xué)系統(tǒng)，其將從缺陷散射的光傳輸?shù)叫袙呙枵障鄼C，該光學(xué)系統(tǒng)具有數(shù)值孔徑NA并且包括：?

(i)主凹面反射鏡，其具有第一部分和第二部分，該反射鏡具有曲率半徑R；和?

(ii)凸面次反射鏡；?

其中：?

(a)從缺陷散射的光經(jīng)過光路到達行掃描照相機，該光路包括來自凹面主反射鏡的第一部分的反射、來自凸面次反射鏡的反射以及來自凹面主反射鏡的第二部分的反射；?

(b)主和次反射鏡的曲率中心基本重合，次反射鏡的半徑基本上等于主反射鏡的半徑的一半；以及?

(c)所述光學(xué)系統(tǒng)在聚焦到玻璃板第一表面上時在該表面處具有半徑D1的點擴散函數(shù)并且在第二表面處具有半徑D2的點擴散函數(shù)，其中D1和D2滿足下列關(guān)系：?

D2/D1≥35?

其中玻璃板的厚度在0.2至1.2毫米范圍內(nèi)。?