1.一種用于檢查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的裝置，該裝置包括：

(A)光源，其照射玻璃板的一部分；

(B)行掃描照相機，其檢測從玻璃板上或玻璃板內的缺陷散射的光，該行掃描照相機包括多個像素，這些像素形成具有長度L和寬度W的光敏區域；以及

(C)光學系統，其將從缺陷散射的光傳輸到行掃描照相機，該光學系統具有數值孔徑NA并且包括：

(i)主凹面反射鏡，其具有第一部分和第二部分，該反射鏡具有曲率半徑R；和

(ii)凸面次反射鏡；

其中：

(a)從缺陷散射的光經過光路到達行掃描照相機，該光路包括來自凹面主反射鏡的第一部分的反射、來自凸面次反射鏡的反射以及來自凹面主反射鏡的第二部分的反射；

(b)主和次反射鏡的曲率中心基本重合，并且次反射鏡的半徑基本上等于主反射鏡的半徑的一半；以及

(c)L、W和R滿足下述關系：

L/R≤0.25；和

對于NA≥0.10，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.046；和

對于NA≥0.12，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.033；和

對于NA≥0.15，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.020。

2.如權利要求1所述的裝置，其中所述光學系統在聚焦到玻璃板第一表面上時在該表面處具有半徑D1的點擴散函數并且在第二表面處具有半徑D2的點擴散函數，其中D1和D2滿足下述關系：

D2/D1≥35

其中玻璃板的厚度在0.2至1.2毫米的范圍內。

3.如權利要求1所述的裝置，其中NA滿足下述關系：

0.10≤NA≤0.15。

4.如權利要求1所述的裝置，其中所述光學系統的孔徑光闌位于次反射鏡處。

5.如權利要求1-4任一項所述的裝置，其中光路只包括反射的光學表面。