1.一種圖像傳感器，包括：

基板，包括光電轉換器件；

在所述基板上的互連結構，所述互連結構包括一個或多個金屬間電介質層和在所述一個或多個金屬間電介質層中的一個或多個金屬互連，所述互連結構限定槽，使得所述槽相應于所述光電轉換器件對準并且具有底部和至少兩個側部；

吸濕阻擋層，在所述互連結構的頂表面上以及在所述槽的內側；和

在所述吸濕阻擋層上的光導單元，所述光導單元包括填充所述槽的透光材料，其中所述吸濕阻擋層沿著所述槽的所述底部和所述兩個側部以及在所述多個金屬間電介質層的頂表面上具有均勻厚度。

2.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述吸濕阻擋層包括鋁氧化物層或鈦氧化物層。

3.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述吸濕阻擋層的厚度為至

4.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述吸濕阻擋層通過原子層沉積工藝形成。

5.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述透光材料沿著作為所述互連結構的頂層的所述金屬間電介質層的上側延伸。

6.根據權利要求1所述的圖像傳感器，還包括：

在所述互連結構與所述基板之間的層間電介質層；

在所述層間電介質層中并電連接到所述多個金屬互連的柵結構；和

在所述互連結構上的蝕刻停止層，其中所述蝕刻停止層、所述層間電介質層的一部分和所述互連結構限定所述槽。

7.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述多個金屬互連是多個銅互連，所述互連結構包括在所述多個金屬間電介質層的每個之間的擴散阻擋層，所述槽由所述互連結構和所述擴散阻擋層限定。

8.一種圖像傳感器，包括：

基板，包括光電轉換器件；

在所述基板上的互連結構，所述互連結構包括一個或多個金屬間電介質層和在所述一個或多個金屬間電介質層中的一個或多個金屬互連；

在所述互連結構與所述基板之間的層間電介質層，所述層間電介質層包括電連接到所述一個或多個金屬互連的柵結構；

吸濕阻擋層，在所述基板和所述互連結構上方；和

濾色器，在所述吸濕阻擋層上方。

9.如權利要求8所述的圖像傳感器，還包括：

光導單元，包括透光材料，

其中所述互連結構限定相應于所述光導轉換器件對準的槽的至少一部分，

所述光導單元包括填充所述槽并沿著所述互連結構與所述吸濕阻擋層之間的間隔延伸的透光材料，和

所述透光材料的折射率高于所述多個金屬間電介質層的折射率。

10.如權利要求9所述的圖像傳感器，還包括在所述互連結構與所述層間電介質層之間的蝕刻停止層，其中所述蝕刻停止層、所述層間電介質層的一部分以及所述互連結構限定所述槽。

11.如權利要求8所述的圖像傳感器，其中所述吸濕阻擋層通過原子層沉積工藝形成。

12.如權利要求8所述的圖像傳感器，其中所述吸濕阻擋層由鋁氧化物層或鈦氧化物層形成。

13.如權利要求8所述的圖像傳感器，其中所述吸濕阻擋層的厚度在至范圍內。

14.一種圖像傳感器，包括：

基板，包括與所述基板的第一表面相鄰的光電轉換器件；

在所述第一表面上的互連結構，所述互連結構包括一個或多個金屬間電介質層和在所述一個或多個金屬間電介質層中的一個或多個金屬互連；

在所述基板的第二表面上的背側層間電介質層，所述基板的第二表面在所述基板關于所述第一表面的相反側上；

吸濕阻擋層，在所述背側層間電介質層上；和

在所述吸濕阻擋層上的濾色器，所述濾色器相應于所述光電轉換器件對準。

15.如權利要求14所述的圖像傳感器，其中所述吸濕阻擋層包括鋁氧化物層或鈦氧化物層。

16.如權利要求14所述的圖像傳感器，其中所述吸濕阻擋層的厚度在至的范圍內。