[實用新型]化學機械拋光設備的硅片清洗裝置無效
| 申請號： | 200920074667.0 | 申請日： | 2009-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN201543609U | 公開（公告）日： | 2010-08-11 |
| 發明（設計）人： | 斯健全 | 申請（專利權）人： | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號： | B08B1/04 | 分類號： | B08B1/04;B24B29/00;H01L21/302 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 張驥 |
| 地址： | 201206 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械拋光 設備 硅片 清洗 裝置 | ||
1.一種化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，包括刷子，其特征在于：還包括刷子支架、刷子旋轉機構、刷子平動機構；
所述刷子設置于刷子支架上，刷子旋轉機構帶動刷子相對于自身旋轉；刷子平動機構連接刷子支架，通過刷子支架的平動實現刷子的平動。
2.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，其特征在于：所述刷子通過電磁套筒設置于刷子支架上，使刷子能夠相對于刷子支架前后動作。
3.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，其特征在于：所述刷子通過皮帶輪設置于刷子支架上，驅動馬達通過皮帶傳動帶動皮帶輪旋轉，使刷子相對于自身旋轉。
4.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，其特征在于：所述刷子支架通過絲桿與刷子支架驅動馬達連接，刷子支架與絲桿之間為螺紋連接，通過刷子支架驅動馬達的正反旋轉來帶動絲桿的轉動，使刷子支架在絲桿上左右移動。
5.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，其特征在于：所述刷子支架、刷子旋轉機構設置于防水罩內。
6.根據權利要求4所述的化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，其特征在于：所述刷子支架、刷子旋轉機構設置于防水罩內，防水罩與絲桿之間為軸承潤滑和/或油封密封。
7.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，其特征在于：所述刷子為扁圓柱體。
8.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，其特征在于：所述刷子為直徑6cm，高度1cm的扁圓柱體。
9.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備的硅片清洗裝置，其特征在于：所述刷子支架設置于豎直放置的硅片的一側。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海華虹NEC電子有限公司，未經上海華虹NEC電子有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.17sss.com.cn/pat/books/200920074667.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：閉路循環冷卻水的化學清洗裝置
- 下一篇：一種鐵皮、鐵屑清掃工具
