[發(fā)明專(zhuān)利]一種硅片表面制絨液及硅片表面制絨的方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910215805.7 | 申請(qǐng)日: | 2009-12-30 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN101717946A | 公開(kāi)(公告)日: | 2010-06-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 戈士勇 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 江陰市潤(rùn)瑪電子材料有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C23G1/32 | 分類(lèi)號(hào): | C23G1/32 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 214423 江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硅片 表面 制絨液 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種制絨液和制絨方法,尤其涉及一種硅片表面制絨液及硅片表面制絨的方法。
背景技術(shù)
利用硅的各向異性腐蝕的原理,在單晶硅表面形成類(lèi)似金字塔的結(jié)構(gòu),可有效降低太陽(yáng)光的反射率,這種反射率低的單晶硅,若應(yīng)用于太陽(yáng)能電池的生產(chǎn),可以顯著得提高太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化為電能的效率。目前,在單晶硅太陽(yáng)能電池工業(yè)中,正在使用的制絨液主要包括:強(qiáng)堿(如NaOH、硅酸納、硅酸鉀、KOH)、緩沖助液(包括乙醇、異丙醇等),其存在的問(wèn)題是:
1、制絨效果不穩(wěn)定,成品率難以控制;
2、制絨后角錐體的尺寸偏大(10um~15um)不夠理想;
3、工藝時(shí)間太長(zhǎng),一般需要30min;
4、乙醇、IPA(異丙醇)具有很強(qiáng)的揮發(fā)性,生產(chǎn)成本較高,在長(zhǎng)時(shí)間的生產(chǎn)中,容易污染生產(chǎn)環(huán)境。
因此,生產(chǎn)出一種理想的用于單晶硅表面粗糙化的制絨液,將是值得研究的具有重大經(jīng)濟(jì)意義的技術(shù)課題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種單晶硅表面處理用的制絨液及其制絨方法,該制絨液能使硅片表面生成均勻的金字塔結(jié)構(gòu),可大大縮短腐蝕時(shí)間,明顯提高太陽(yáng)能的轉(zhuǎn)化率,其制絨工藝十分方便、易于控制。
本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種硅片表面制絨液,其特征在于,所述制絨液的成分包含有去離子水、氫氧化鉀或氫氧化鈉、碳酸和/或有機(jī)酸、非離子表面活性液,其中氫氧化鉀或氫氧化鈉的含量在25%以?xún)?nèi),碳酸和/或有機(jī)酸的含量在7%以?xún)?nèi),非離子表面活性液的含量在2‰以?xún)?nèi),其余為去離子水。
其中,所述有機(jī)酸為乙酸,所述乙酸的含量為1.5%~7%。
其中,所述表面活性液為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性液,或?yàn)榫垩跻蚁?聚氧丙烯共聚物,所述表面活性液的含量為0.5‰~2‰。
其中,所述烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性液,具體是辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚。
用上述制絨液將硅片表面制絨的方法,其特征在于,所述制絨方法包括如下步驟:
S1:在制絨槽內(nèi)加入上述制絨液,且將制絨液攪拌均勻;
S2:將硅片擺放在托架內(nèi),然后將硅片與托架一起浸泡入制絨槽內(nèi);
S3:將制絨液及硅片一起加熱到70-80度,然后保溫15~20分鐘;
S4:將制絨后的托架及硅片由制絨槽中取出,然后進(jìn)行清洗處理。
其中,在步驟S2中擺放在托架內(nèi)硅片的數(shù)量為25片。
其中,所述加熱的方式采用電加熱,或采用蒸汽加熱。
其中,所述清洗處理使用去離子純凈水對(duì)硅片的表面進(jìn)行沖洗。
本發(fā)明技術(shù)方案突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的進(jìn)步主要體現(xiàn)在:
1、本發(fā)明運(yùn)用獨(dú)特的配方科學(xué)配制制絨液,在溶液中添加了碳酸、乙酸弱化了制絨液的堿性,同時(shí)碳酸離子、乙酸離子也參與了對(duì)硅表面單向腐蝕,這樣可以進(jìn)一步加快制絨液對(duì)硅表面的腐蝕速率,還可以降低廢液對(duì)環(huán)境的污染。
2、由于采用了聚氧乙烯醚系列表面活性液,能大大降低制絨液的表面張力,實(shí)現(xiàn)了均勻氣泡釋放技術(shù),保證制絨后所有角錐體邊長(zhǎng)減小,平面內(nèi)分布相當(dāng)均勻,同時(shí)還縮短了工藝時(shí)間,提高了工效。
3、該制絨液使硅片表面生成均勻的金字塔結(jié)構(gòu),增加了光吸收比表面積,減少光反射損失,顯著提高了光電轉(zhuǎn)換效率。
4、該制絨液用于單晶硅表面粗糙化時(shí),其制絨工藝操作很方便,易于控制,無(wú)易揮發(fā)物質(zhì),不污染環(huán)境,可重復(fù)性佳,可廣泛用于對(duì)單晶硅表面的制絨處理,應(yīng)用前景極為看好。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案,而不能以此來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
一種硅片表面制絨液,該制絨液的成分包含有去離子水、氫氧化鉀或氫氧化鈉、碳酸和/或有機(jī)酸、非離子表面活性液,其中氫氧化鉀或氫氧化鈉的含量在25%以?xún)?nèi),碳酸和/或有機(jī)酸的含量在7%以?xún)?nèi),非離子表面活性液的含量在2‰以?xún)?nèi),其余為去離子水。
理想的硅片表面制絨液配置方案是,所述有機(jī)酸選用乙酸,所述乙酸的含量為1.5%~7%。所述表面活性液為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性液,或?yàn)榫垩跻蚁?聚氧丙烯共聚物,所述表面活性液的含量為0.5‰~2‰。所述烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性液,具體是辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚。
用上述制絨液將硅片表面制絨的方法,所述制絨方法包括如下步驟:
第一步:在制絨槽內(nèi)加入上述制絨液,且將制絨液攪拌均勻;
第二步:將硅片擺放在托架內(nèi),然后將硅片與托架一起浸泡入制絨槽內(nèi);
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