技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種為傳輸裝置提供動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種驅(qū)動(dòng)真空 腔內(nèi)的用于傳輸基片的滾輪裝置的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

玻璃基材等薄板已廣泛用于制造LCD-TFT顯示屏、有機(jī)發(fā)光顯示器件(OLED) 面板、薄膜太陽能面板應(yīng)用及其他類似者。于此類應(yīng)用中大多在潔凈玻璃上鍍 覆薄膜晶體管，這類大型玻璃基材的制程通常包含實(shí)施多個(gè)連續(xù)步驟，包括如 化學(xué)氣相沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機(jī)物質(zhì)蒸鍍、磁控濺 射沉積或蝕刻制程。用于處理玻璃基材的系統(tǒng)可包括一或多個(gè)制程處理室，以 進(jìn)行前述所述制程。目前趨勢面板加工朝向大面積基材尺寸發(fā)展，以使基材上 可形成更多顯示器、或制造更大型的顯示器以及更大型的太陽能面板。

由于此類制程的工藝要求比較嚴(yán)格，即必須在真空狀態(tài)下以及完全潔凈的 空間環(huán)境中進(jìn)行，如有機(jī)發(fā)光二極管的蒸鍍制程，其沉積物為呈蒸汽狀的有機(jī) 物質(zhì)，如有空氣、水汽等存在的話極易與有機(jī)蒸鍍材料發(fā)生反應(yīng)進(jìn)而改變基材 上的沉積物成分，影響其發(fā)光效應(yīng)；再如，磁控濺射沉積制程過程中，等離子 體輝光放電后相互撞擊空間內(nèi)惰性氣體使離子化程度達(dá)到雪崩狀態(tài)，從而大面 積、大范圍的撞擊金屬靶材，金屬原子或/和原子團(tuán)脫離靶材在磁力引導(dǎo)下沉積 到基底上，然此過程如密封不好、真空環(huán)境不足將嚴(yán)重影響輝光放電的程度， 同時(shí)空氣中的氧氣和水汽也會(huì)將靶材侵蝕，導(dǎo)致磁控濺射制程中斷或/和沉積薄 膜受到影響；類此種種玻璃等基材的鍍膜、覆膜制程，都必須要保證整個(gè)制程 的真空系統(tǒng)的絕對(duì)可靠性。這樣，在此類制程中，真空傳動(dòng)就凸顯了重要意義， 真空傳動(dòng)的設(shè)計(jì)程度往往考驗(yàn)著整個(gè)制程的真空系統(tǒng)的可靠性。

真空環(huán)境的獲得全賴于能夠密封，針對(duì)不同真空室的工作要求，在真空傳 動(dòng)系統(tǒng)中，動(dòng)力源一般由外部傳到內(nèi)部這樣首先就要解決的是傳動(dòng)系統(tǒng)與真空 室間的密封，同時(shí)基于制造的要求必須保證所有傳動(dòng)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)都能同步運(yùn)動(dòng)， 而現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)真空腔的動(dòng)力傳動(dòng)大都采用動(dòng)密封傳動(dòng)，以往的動(dòng)密封傳動(dòng) 一方面動(dòng)密封不容易實(shí)現(xiàn)，對(duì)于元部件的要求較高，另一方面動(dòng)密封存在不穩(wěn) 定性，多次重復(fù)動(dòng)作容易導(dǎo)致密封元器件的壞損影響密封要求。在真空腔體內(nèi) 的傳輸采用大量的滾輪、滾珠頂桿等，一方面滾輪與被傳輸器件接觸會(huì)產(chǎn)生避 免不了的磨損，另一方面大量采用大量的滾輪、滾珠頂桿也會(huì)給真空環(huán)境帶來 污染。腔體內(nèi)部的同步聯(lián)系，由于鏈輪與鏈條或/和同步帶輪與同步帶間的相對(duì) 運(yùn)動(dòng)以及直接的物理接觸會(huì)使來自驅(qū)動(dòng)裝置的污染源增多。

因此，急需一種密封效果好、不易損壞、高清潔度、超靜音的非接觸式的 滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種密封效果好、不易損壞、高清潔度、超靜音的 采用非接觸式傳輸動(dòng)力的滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：提供一種滾輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 適用于驅(qū)動(dòng)平行安裝于真空腔內(nèi)的用于傳輸基片的滾輪裝置，所述滾輪裝置驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)裝置、磁力傳動(dòng)裝置及密封蓋，所述真空腔的腔壁開設(shè)有安裝 孔，所述密封蓋密封地安裝于所述安裝孔內(nèi)，所述密封蓋具有中空結(jié)構(gòu)的凸起， 所述磁力傳動(dòng)裝置包括傳動(dòng)齒輪、外磁環(huán)套和內(nèi)磁環(huán)套，所述傳動(dòng)齒輪套于所 述外磁環(huán)套外，所述凸起樞接地穿過所述外磁環(huán)套并與所述傳動(dòng)齒輪樞接，所 述傳動(dòng)齒輪與所述驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述內(nèi)磁環(huán)套固定套設(shè)在所述滾輪裝置的滾 輪軸上并容置于所述密封蓋的凸起的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述外磁環(huán)套與所述內(nèi)磁環(huán) 套均內(nèi)嵌有永磁體，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述傳動(dòng)齒輪帶動(dòng) 所述外磁環(huán)套旋轉(zhuǎn)，所述外磁環(huán)套帶動(dòng)所述內(nèi)磁環(huán)套旋轉(zhuǎn)，所述內(nèi)磁環(huán)套帶動(dòng) 所述滾輪裝置的滾輪軸旋轉(zhuǎn)。

較佳地，所述外磁環(huán)套上開設(shè)有外磁鐵安裝槽，所述內(nèi)磁環(huán)套于所述外磁 鐵安裝槽相應(yīng)的位置上開設(shè)有內(nèi)磁鐵安裝槽，所述永磁體分別安裝于所述外磁 鐵安裝槽和內(nèi)磁鐵安裝槽內(nèi)。采用開設(shè)外磁鐵安裝槽和內(nèi)磁鐵安裝槽并在其內(nèi) 安裝永磁體的方式使所述外磁環(huán)套和內(nèi)磁環(huán)套之間建立磁性連接，使本發(fā)明滾 輪裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡單且制造成本低。