1.一種滾輪裝置驅動機構，適用于驅動平行安裝于真空腔內的用于傳輸基片的 滾輪裝置，其特征在于：所述滾輪裝置驅動機構包括驅動裝置、磁力傳動裝置 及密封蓋，所述真空腔的腔壁開設有安裝孔，所述密封蓋密封地安裝于所述安 裝孔內，所述密封蓋具有中空結構的凸起，所述磁力傳動裝置包括傳動齒輪、 外磁環套和內磁環套，所述傳動齒輪套于所述外磁環套外，所述凸起樞接地穿 過所述外磁環套并與所述傳動齒輪樞接，所述傳動齒輪與所述驅動裝置連接， 所述內磁環套固定套設在所述滾輪裝置的滾輪軸上并容置于所述密封蓋的凸起 的中空結構內，所述外磁環套與所述內磁環套均內嵌有永磁體，所述驅動裝置 驅動所述傳動齒輪轉動，所述傳動齒輪帶動所述外磁環套旋轉，所述外磁環套 帶動所述內磁環套旋轉，所述內磁環套帶動所述滾輪裝置的滾輪軸旋轉。

2.如權利要求1所述的滾輪裝置驅動機構，其特征在于：所述外磁環套上開設 有外磁鐵安裝槽，所述內磁環套于所述外磁鐵安裝槽相應的位置上開設有內磁 鐵安裝槽，所述永磁體分別安裝于所述外磁鐵安裝槽和內磁鐵安裝槽內。

3.如權利要求1所述的滾輪裝置驅動機構，其特征在于：所述驅動裝置包括第 一鏈傳動輪、第二鏈傳動輪、鏈條、驅動傳動軸、驅動齒輪及馬達，所述鏈條 纏繞于所述第一鏈傳動輪和第二鏈傳動輪上且與所述第一鏈傳動輪和第二鏈傳 動輪相嚙合，所述第一鏈傳動輪固定于所述馬達的輸出軸上，所述驅動傳動軸 樞接于所述真空腔的外壁上，所述第二鏈傳動輪與所述驅動齒輪同軸固定于所 述驅動傳動軸上，所述驅動齒輪與所述傳動齒輪嚙合。

4.如權利要求3所述的滾輪裝置驅動機構，其特征在于：所述驅動裝置還包括 軸承座，所述軸承座固定于所述真空腔的外壁上，所述驅動傳動軸與所述軸承 座樞接。

5.如權利要求1所述的滾輪裝置驅動機構，其特征在于：所述滾輪裝置還包括 支架及滾輪，所述支架安裝于所述真空腔內的滾輪軸兩側，所述滾輪軸的一端 與所述內磁環套固定連接，所述滾輪軸的另一端依次穿過兩所述滾輪并與所述 支架樞接，被同一所述滾輪軸穿過的兩所述滾輪之間形成基片傳輸區。

6.如權利要求5所述的滾輪裝置驅動機構，其特征在于：所述滾輪開設有臺階， 被同一所述滾輪軸穿過的兩所述滾輪的臺階相對設置并形成所述基片傳輸區。

7.如權利要求1所述的滾輪裝置驅動機構，其特征在于：還包括密封圈，所述 密封圈連接于所述密封蓋與所述安裝孔之間。