[實用新型]推料裝置無效
| 申請號: | 200820094362.1 | 申請日: | 2008-05-28 |
| 公開(公告)號: | CN201259888Y | 公開(公告)日: | 2009-06-17 |
| 發明(設計)人: | 高云峰;付曉輝;廖有用;王光能;胡晶 | 申請(專利權)人: | 深圳市大族精密機電有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L33/00;B65G25/08 |
| 代理公司: | 深圳市科吉華烽知識產權事務所 | 代理人: | 胡吉科 |
| 地址: | 518057廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 | ||
1.一種推料裝置,其特征在于:其包括推桿,齒條,齒輪,導向裝置,前進U型光電傳感器以及后退U型光電傳感器,其中前進U型光電傳感器與后退U型光電傳感器設置在推桿上,導向裝置與該推桿連接,齒輪與齒條連接并帶動齒條運動,該齒條設置在推桿上。
2.根據權利要求1所述的推料裝置,其特征在于:其包括電機圓皮帶輪,驅動軸圓皮帶輪,圓皮帶,張緊機構,彈簧以及直流馬達,其中直流馬達與電機圓皮帶輪相連,并通過圓皮帶傳遞,帶動驅動軸圓皮帶輪轉動。
3.根據權利要求2所述的推料裝置,其特征在于:所述的張緊機構與彈簧連接。
4.根據權利要求3所述的推料裝置,其特征在于:所述的張緊機構與圓皮帶連接并控制圓皮帶的張力。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





