[發明專利]陣列電路維修系統及維修方法有效
| 申請號: | 200810105015.9 | 申請日: | 2008-04-25 |
| 公開(公告)號: | CN101566739A | 公開(公告)日: | 2009-10-28 |
| 發明(設計)人: | 葛興;田震寰;權基瑛 | 申請(專利權)人: | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/13 | 分類號: | G02F1/13;G02F1/1362 |
| 代理公司: | 北京中博世達專利商標代理有限公司 | 代理人: | 申 健 |
| 地址: | 100176北京市*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 陣列 電路 維修 系統 方法 | ||
1.一種陣列電路維修系統,包括:系統控制單元,所述系統控制單元連接有運動單元,所述運動單元設置有查找定位單元以及維修單元,其特征在于,所述運動單元上還設置有線性掃描檢測單元,其中
線性掃描檢測單元用于對坐標不確定的不良進行線性掃描檢測,得到準確的不良信息,所述線性掃描檢測單元包括:線性照相機及安裝在線性照相機上的光學系統單元。
2.根據權利要求1所述的陣列電路維修系統,其特征在于,所述系統控制單元包括程序控制微機,所述程序控制微機一端連接有人機交互子單元,另一端連接有維修控制子單元和運動控制子單元,其中,
所述維修控制子單元還與所述維修單元相連;
所述運動控制子單元還與所述運動單元相連。
3.根據權利要求2所述的陣列電路維修系統,其特征在于,
所述運動單元包括電機及運動軸,所述運動控制子單元包括運動控制卡和電機驅動器。
4.根據權利要求2所述的陣列電路維修系統,其特征在于,
所述線性照相機與設在所述程序控制微機上的影像采集卡相連。
5.根據權利要求3所述的陣列電路維修系統,其特征在于,
所述查找定位單元包括CCD相機及安裝在CCD相機上的光學系統單元,其中,所述CCD相機與設在所述程序控制微機上的影像采集卡相連,或
當所述線性照相機為可以實現靜態彩色影像的線性照相機時,所述查找定位單元的功能由所述線性照相機及安裝在線性照相機上的光學系統單元實現,其中,所述線性照相機與設在所述程序控制微機上的影像采集卡相連。
6.根據權利要求3所述的陣列電路維修系統,其特征在于,所述維修單元為激光器以及安裝在激光器上的光學系統單元,所述維修控制子單元為激光控制器。
7.根據權利要求4、5或6所述的陣列電路維修系統,其特征在于,所述光學系統單元包括反射鏡、濾光片、遮光片、衰減器以及顯微鏡頭。
8.根據權利要求4或5所述的陣列電路維修系統,其特征在于,所述線性照相機可以自由旋轉。
9.根據權利要求3所述的陣列電路維修系統,其特征在于,所述運動軸數量為一根;
所述查找定位單元、維修單元和線性掃描檢測單元集成為一體,共同設置在所述的一根運動軸上。
10.根據權利要求3所述的陣列電路維修系統,其特征在于,所述運動軸數量為兩根;
所述查找定位單元與維修單元、線性掃描檢測單元分別設置在所述的兩根運動軸上。
11.一種陣列電路維修方法,其特征在于,包括步驟:
包括線性照相機及安裝在線性照相機上的光學系統單元的線性掃描檢測單元對陣列電路坐標不確定的不良進行線性掃描檢測,得到準確的不良信息;
包括CCD相機及安裝在CCD相機上的光學系統單元的查找定位單元根據所述的不良信息進行不良的查找定位;
對所述不良進行維修。
12.根據權利要求11所述的陣列電路維修方法,其特征在于,所述對陣列電路坐標不確定的不良進行線性掃描檢測,得到準確的不良信息的步驟包括:
對坐標不確定的不良進行線性掃描檢測,得到掃描信息;
線性照相機的掃描結果傳輸到程序控制微機的影像采集卡,經過運算處理,得到準確的不良點坐標。
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