[發明專利]MIM電容器有效
| 申請號: | 200810099876.0 | 申請日: | 2005-07-13 |
| 公開(公告)號: | CN101308726A | 公開(公告)日: | 2008-11-19 |
| 發明(設計)人: | 飯岡修;福岡郁人 | 申請(專利權)人: | 富士通株式會社 |
| 主分類號: | H01G4/005 | 分類號: | H01G4/005;H01G4/228;H01L29/94 |
| 代理公司: | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人: | 張龍哺 |
| 地址: | 日本神奈*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | mim 電容器 | ||
1.一種MIM電容器,包括:
第一和第二導體圖形(11A,11B),埋置在第一層間絕緣膜(11)中而以彼此相對的關系在所述第一層間絕緣膜(11)中連續延伸;以及
第三和第四導體圖形(13A,13B),埋置在第三層間絕緣膜(13)中,所述第三層間絕緣膜(13)經由第二層間絕緣膜(12)在所述第一層間絕緣膜(11)上方形成,
所述第三和第四導體圖形(13A,13B)以彼此相對的關系在所述第三層間絕緣膜(13)中連續延伸,
其中,第五導體圖形(12A)埋置在所述第二層間絕緣膜(12)中而與所述第一和第三導體圖形(11A,13A)相對應地在所述第二層間絕緣膜(12)中連續延伸,所述第五導體圖形(12A)將所述第一和第三導體圖形(11A,13A)連續連接,
第六導體圖形(12B)埋置在所述第二層間絕緣膜(12)中而與所述第二和第四導體圖形(11B,13B)相對應地在所述第二層間絕緣膜(12)中連續延伸,所述第六導體圖形(12B)將所述第二和第四導體圖形(11B,13B)連續連接。
2.如權利要求1所述的MIM電容器,其中,所述第一、第三和第五導體圖形(11A,13A,12A)具有相同的形狀和相同的大小,并且所述第二、第四和第六導體圖形(11B,13B,12B)具有相同的形狀和相同的大小。
3.如權利要求1所述的MIM電容器,其中,所述第五導體圖形(12A)連續于所述第三導體圖形(13A)之下形成,所述第五導體圖形(12A)在其底部與所述第一導體圖形(11A)相接觸,所述第六導體圖形(12B)連續于所述第四導體圖形(13B)之下形成,所述第六導體圖形(12B)在其底部與所述第二導體圖形(11B)相接觸。
4.如權利要求3所述的MIM電容器,其中,所述第三和第四導體圖形(13A,13B)被暴露在所述第三層間絕緣膜(13)的表面,所述第三和第四導體圖形(13A,13B)具有與所述第三層間絕緣膜(13)表面齊平的各自的暴露表面。
5.如權利要求3所述的MIM電容器,其中,所述第三導體圖形(13A)具有形成有第一阻擋金屬膜的側壁表面,所述第一阻擋金屬膜還連續覆蓋所述第五導體圖形(12A)的側壁表面和底表面,所述第四導體圖形(13B)具有由第二阻擋金屬膜覆蓋的側壁表面,所述第二阻擋金屬膜連續覆蓋所述第六導體圖形(12B)的側壁表面和底表面。
6.如權利要求3所述的MIM電容器,其中,在所述第一層間絕緣膜(11)和所述第二層間絕緣膜(12)之間的界面處形成作為蝕刻停止層的第一絕緣膜,在所述第二層間絕緣膜(12)和所述第三層間絕緣膜(13)之間的界面處形成第二絕緣膜。
7.如權利要求1所述的MIM電容器,其中,所述第五和第六導體圖形(12A,12B)由與所述第三和第四導體圖形(13A,13B)不同的材料形成。
8.如權利要求7所述的MIM電容器,其中,所述第三和第四導體圖形(13A,13B)具有由高熔點金屬覆蓋的各自的側壁表面和底表面。
9.如權利要求1所述的MIM電容器,其中,所述第一和第二導體圖形(11A,11B)形成梳狀電極圖形,所述第三和第四導體圖形(13A,13B)和所述第五和第六導體圖形(12A,12B)形成與所述梳狀電極圖形相對應的各自的梳狀電極圖形。
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