1.一種尺寸測定裝置(1)，該裝置(1)用于測定被測定物(2)的尺寸，

上述尺寸測定裝置(1)包括輸送部件(5)、溫度控制部件、尺寸測定部件(15)和溫度測定部件(14)，

該輸送部件(5)用于輸送被測定物(2)，

該溫度控制部件用于控制輸送被測定物(2)的輸送區域(10、11)內的溫度，

該尺寸測定部件(15)用于測定輸送到上述輸送區域(10、11)中測定部(6)的被測定物(2)的尺寸，

該溫度測定部件(14)用于測定在由上述尺寸測定部件(15)測定尺寸時的被測定物(2)的溫度；

使用由上述溫度測定部件(14)測定的溫度，將由上述尺寸測定部件(15)測定的被測定物(2)的尺寸修正為在預先確定的基準溫度下的尺寸。

2.根據權利要求1所述的尺寸測定裝置(1)，基于上述修正的尺寸與預先確定的基準尺寸的尺寸差，評價被測定物(2)的尺寸精度。

3.根據權利要求2所述的尺寸測定裝置(1)，

該尺寸測定裝置(1)還具有配置在上述測定部(6)的基準件(16)，

通過測定上述基準件(16)的溫度來設定上述基準溫度，

通過在測定上述基準件(16)的基準溫度時測定該基準件(16)的尺寸來設定上述基準尺寸。

4.根據權利要求3所述的尺寸測定裝置(1)，

上述尺寸測定部件(15)是位移儀，該位移儀用于測定被測定物(2)與上述基準件(16)基準尺寸的尺寸差，

使用由上述溫度測定部件(14)測定的溫度，將由該位移儀測定的位移修正為在上述基準件(16)的基準溫度下的位移，

基于上述修正的位移，評價被測定物(2)的尺寸精度。

5.根據權利要求3或4所述的尺寸測定裝置(1)，

在測定上述基準件(16)之后經過了規定時間后、或由上述溫度測定部件(14)測定的被測定物(2)的溫度與上述基準溫度的溫度差為規定以上時，測定上述基準溫度和上述基準尺寸。

6.根據權利要求1所述的尺寸測定裝置(1)，

上述輸送區域(10、11)被劃分為第1區域(10)和第2區域(11)，

該第1區域(10)對被測定物(2)進行強制冷卻，

該第2區域(11)使在上述第1區域被冷卻的被測定物(2)的溫度均溫。

7.一種尺寸測定方法，該方法用于測定被測定物的尺寸，

該尺寸測定方法包括溫度控制步驟、尺寸測定步驟、溫度測定步驟和修正步驟；

該溫度控制步驟控制輸送被測定物(2)的輸送區域(10、11)內的溫度，

該尺寸測定步驟測定輸送到上述輸送區域(10、11)中測定部(6)的被測定物(2)的尺寸，

該溫度測定步驟測定在通過上述尺寸測定步驟測定尺寸時的被測定物(2)的溫度，

該修正步驟使用由上述溫度測定步驟測定的溫度，將由上述尺寸測定步驟測定的被測定物(2)的尺寸修正為在預先確定的基準溫度下的尺寸。

8.根據權利要求7所述的尺寸測定方法，

該尺寸測定方法還包括評價步驟，該評價步驟基于上述修正后的尺寸與預先確定的基準尺寸的尺寸差，評價被測定物(2)的尺寸精度。

9.根據權利要求8所述的尺寸測定方法，

通過測定配置在上述測定部(6)的基準件(16)的溫度來設定上述基準溫度，

通過在測定上述基準件(16)的基準溫度時測定該基準件(16)的尺寸來設定上述基準尺寸。