[發明專利]研磨裝置及其自動化研磨方法無效
| 申請號： | 200710084325.2 | 申請日： | 2007-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN101045282A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發明（設計）人： | 儲中文;劉昱辰;盧聰林;劉榮其;吳哲耀 | 申請（專利權）人： | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B7/24 | 分類號： | B24B7/24;B24B53/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陶鳳波 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 裝置 及其 自動化 方法 | ||
【說明書】：
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