[發(fā)明專利]研磨裝置及其自動(dòng)化研磨方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710084325.2 | 申請(qǐng)日： | 2007-02-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101045282A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 儲(chǔ)中文;劉昱辰;盧聰林;劉榮其;吳哲耀 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 友達(dá)光電股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B7/24 | 分類號(hào)： | B24B7/24;B24B53/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人： | 陶鳳波 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 裝置 及其 自動(dòng)化 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 自動(dòng)化設(shè)備和自動(dòng)化系統(tǒng)
- 一種基于流程驅(qū)動(dòng)的測(cè)試自動(dòng)化方法以及測(cè)試自動(dòng)化系統(tǒng)
- 用于工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備認(rèn)識(shí)的系統(tǒng)和方法
- 實(shí)現(xiàn)過程自動(dòng)化服務(wù)的標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)方法學(xué)的自動(dòng)化系統(tǒng)
- 一種日產(chǎn)50萬安時(shí)勻漿自動(dòng)化系統(tǒng)
- 一種自動(dòng)化肥料生產(chǎn)系統(tǒng)
- 一種電氣自動(dòng)化設(shè)備自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)及檢測(cè)方法
- 用于自動(dòng)化應(yīng)用的抽象層
- 一種基于虛擬化架構(gòu)的自動(dòng)化系統(tǒng)功能驗(yàn)證方法
- 自動(dòng)化測(cè)試框架自動(dòng)測(cè)試的實(shí)現(xiàn)技術(shù)
