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[其他]壓電陶瓷晶片切割機(jī)在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 101985000000706 申請(qǐng)日: 1985-04-01
公開(公告)號(hào): CN85100706B 公開(公告)日: 1987-07-29
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 朱儒良;陳貴陽(yáng);沈志華 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 中國(guó)科學(xué)院東海研究站
主分類號(hào): 分類號(hào):
代理公司: 中國(guó)科學(xué)院上海專利事務(wù)所 代理人: 張學(xué)琦
地址: 上海市小木*** 國(guó)省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 壓電 陶瓷 晶片 切割機(jī)
【說明書】:

一種壓電陶瓷晶片切割機(jī),它包括一高速電動(dòng)機(jī),帶動(dòng)一由兩塊凹凸形的輕金屬夾板所固定的金剛石砂輪薄刀片,和一低速馬達(dá),帶動(dòng)一固定凸面形模塊的平移回轉(zhuǎn)架。它可以將各種不同曲率半徑的晶片根據(jù)需要進(jìn)行精密切割、加工、尤其可用以加工B型超聲線陣探頭的壓電晶片,或相控陣超聲探頭的壓電晶片,或?qū)ζ渌哂捕炔牧?,如寶石等進(jìn)行切割。本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、合理,加工速率高,且造價(jià)低廉。

發(fā)明是一種壓電陶瓷晶片切割機(jī)。

在制造超聲成像各種探頭時(shí),需要將壓電陶瓷晶片精密分割成很小的陣元,以形成超聲成像換能器基陣,在超聲成像裝置中,其工作頻率往往達(dá)幾兆赫,換能器基陣中的陣元很小,加工精度很高,為了使超聲探頭具有良好的聲學(xué)性能,其重要措施之一是將壓電陶瓷晶片用機(jī)械分割法將相鄰換能器陳元分離,現(xiàn)在切割晶體等材料一般采用內(nèi)園切割機(jī),它可以將棒形晶體切斷成薄圓片(1),(參考:公開特許公報(bào)昭和55-62743)但對(duì)切割特殊要求的壓電晶片還要專門的切割裝置。

本發(fā)明的任務(wù)是提供一種可以將各種不同曲率半徑的晶片根據(jù)需要進(jìn)行精密切割、加工的裝置。尤其可以加工B型超聲線陣探頭的壓電晶片,也可加工相控陣超聲探頭的壓電晶片。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的:它包括一個(gè)變速電動(dòng)機(jī)(1),一個(gè)金剛石砂輪刀基座(2),一片金剛石砂輪薄刀片(3),一個(gè)冷卻泵系統(tǒng)(6),其特征在于:有一低速馬達(dá)(5),帶動(dòng)一平移回轉(zhuǎn)架(4),和一個(gè)固定在平移回轉(zhuǎn)架上的凸面形模塊(7);其金剛石砂輪轉(zhuǎn)薄刀片(3)由兩塊凹凸形的輕金屬夾板(9)所固定。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、合理,可以對(duì)各種不同曲率的晶體進(jìn)行精密切割,加工速率高,且造價(jià)低廉并能廣泛應(yīng)用于其他高硬度材料-如寶石等的切割。

本發(fā)明的實(shí)施例結(jié)合附圖予以詳細(xì)描述:

圖中,高速電動(dòng)機(jī)(1)與一金剛石砂輪刀基座(2)固定在一冷卻系統(tǒng)(6)箱殼上。金剛石薄刀片(3)是裝置在金剛石砂輪刀基座(2)中的高速軸承的一端,高速軸承在高速電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)下,作高速轉(zhuǎn)動(dòng),將曲面形的壓電陶瓷晶片(8)用粘結(jié)劑粘結(jié)在凸面形模塊(7)上,然后將模塊固定在平移回轉(zhuǎn)架(4)上,平移回轉(zhuǎn)架可以沿X方向作平移轉(zhuǎn)動(dòng),平移回轉(zhuǎn)架在低速馬達(dá)(5)驅(qū)動(dòng)下低速旋轉(zhuǎn),每旋轉(zhuǎn)一周,曲面形壓電晶片便被切割一次,每次切割后,接著移動(dòng)平移回轉(zhuǎn)架,移動(dòng)必須在下一次切割前完成,然后進(jìn)行第二次切割。

金剛石砂輪刀基座可沿Y方向移動(dòng),切割深度和切割間距可以自由控制。在切割過程中,由冷卻系統(tǒng)供液冷卻。

平移回轉(zhuǎn)架上的凸面形模塊(7),可根據(jù)要切割的各種不同曲率的晶片而隨意調(diào)換。模塊的曲率半徑與晶片的內(nèi)曲面半徑相等。

所發(fā)明的壓電陶瓷切割機(jī)所用的金剛石薄刀片,刀刃是在外圓周上的,刀片是由兩片凹凸形輕金屬夾板固定起來的,輕金屬材料,采用鋁或鈦合金。

所發(fā)明的壓電陶瓷切割機(jī)要求刀片的轉(zhuǎn)速至少大于10000轉(zhuǎn)/分,平移回轉(zhuǎn)架的轉(zhuǎn)速在60~80轉(zhuǎn)/分之間,所用的金剛石砂輪刀片的厚度為0.03毫米~0.07毫米之間,利用所發(fā)明的壓電陶瓷切割方法作適當(dāng)改進(jìn)后,實(shí)現(xiàn)數(shù)控切割,也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)平面形壓電晶片和其他高硬度材料,如寶石等進(jìn)行切割。

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