[發明專利]用于電子元件的燒成夾具有效
| 申請號: | 02105825.3 | 申請日: | 2002-04-10 |
| 公開(公告)號: | CN1381424A | 公開(公告)日: | 2002-11-27 |
| 發明(設計)人: | 二本松浩明;森笹真司;中西泰久 | 申請(專利權)人: | 日本礙子株式會社;NGK阿德列克株式會社 |
| 主分類號: | C04B35/195 | 分類號: | C04B35/195;C04B41/80;H01G13/00;H01C17/30 |
| 代理公司: | 北京銀龍專利代理有限公司 | 代理人: | 吳邦基 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 電子元件 燒成 夾具 | ||
1.一種用于電子元件的燒成夾具,用于把由陶瓷構成的被燒成體裝載在上面,燒成該被燒成體制作電子元件,其特征在于:
由含有堇青石、或者堇青石和氧化鋁和/或富鋁紅柱石的基體材料、至少為1層的中間層、和與上述被燒成體反應性低的材料形成的表層構成。
2.根據權利要求1所述的用于電子元件的燒成夾具,其特征在于由含有雜質量占質量2.5%以下的堇青石、或者雜質量占質量2.5%以下的堇青石和氧化鋁和/或富鋁紅柱石的基體材料、至少為1層的中間層、和與上述被燒成體反應性低的材料形成的表層組成。
3.根據權利要求1或2所述的用于電子元件的燒成夾具,其特征在于上述雜質中含有氧化鐵(Fe2O3),上述堇青石中含有的氧化鐵(Fe2O3)量占質量1%以下。
4.根據權利要求1至3中任何一項所述的用于電子元件的燒成夾具,其特征在于上述雜質含有氧化鐵(Fe2O3)、氧化納(Na2O)及氧化鉀(K2O),上述堇青石中含有的氧化鐵(Fe2O3)、氧化納(Na2O)及氧化鉀(K2O)量占質量2%以下。
5.根據權利要求1至4中任何一項所述的用于電子元件的燒成夾具,其特征在于上述基體材料含有的上述堇青石占質量50%以上。
6.根據權利要求1至5中任何一項所述的用于電子元件的燒成夾具,其特征在于上述中間層含有選自氧化鋁、富鋁紅柱石、氧化鋁和氧化鋯的共晶物、及氧化鋁和富鋁紅柱石的混合物所構成的組中的一種以上,上述表層含有氧化鋯。
7.根據權利要求1至6中任何一項所述的用于電子元件的燒成夾具,其特征在于上述中間層通過噴鍍法或者噴涂法形成,上述表層通過噴鍍法或者噴涂法形成。
8.根據權利要求1至7中任何一項所述的用于電子元件的燒成夾具,其特征在于上述噴鍍法是水穩定化等離子體噴鍍法。
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