[其他]硫化鉛多晶薄膜的激光敏化方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 87102141 | 申請(qǐng)日: | 1987-03-21 |
| 公開(公告)號(hào): | CN87102141A | 公開(公告)日: | 1988-10-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 孫維國(guó);胡榮武 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 航空工業(yè)部第014中心 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;H01G9/20;G01J5/10 |
| 代理公司: | 航天工業(yè)部專利事務(wù)所 | 代理人: | 馬國(guó)祥,王淑慈 |
| 地址: | 河南洛陽*** | 國(guó)省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硫化鉛 多晶 薄膜 激光 方法 | ||
本發(fā)明是關(guān)于PbS紅外光敏元件制造中敏化工藝的發(fā)明,敏化是制造PbS探測(cè)器關(guān)鍵的一環(huán),敏化效果如何直接影響探測(cè)率大小。
據(jù)我們所知國(guó)內(nèi)外,以往對(duì)PbS薄膜的敏化采用化學(xué)敏化法、爐中高溫處理法,高溫法做的器件與化學(xué)敏化法比較,穩(wěn)定性好,響應(yīng)時(shí)間常數(shù)小,但高溫處理敏化條件較難掌握,重復(fù)性差,成品率不高,所用時(shí)間較長(zhǎng),即升溫至550℃左右(需要一小時(shí)左右)然后恒溫一小時(shí)再自然冷卻至室溫取出,每次敏化放片不多,且在敏化過程中敏化情況不能直接觀察。
本發(fā)明的目的是提供一種PbS光敏元件制造中敏化新方法。
本發(fā)明采用激光器代替敏化爐,把化學(xué)沉淀在玻璃襯底上的薄膜用激光擴(kuò)束照射(掃描)待敏元件而到達(dá)敏化效果。在大氣環(huán)境中待敏元件吸收了激光后,由于光化學(xué)和熱效應(yīng)作用使表面生成對(duì)紅外輻射敏感物質(zhì),從而達(dá)到敏化效果。敏化效果與功率密度有關(guān)。功率密度太大,薄膜表面揮發(fā),功率密度太小,達(dá)不到敏化效果。其最佳功率密度范圍是100瓦/厘米2~300瓦/厘米2。激光器的波長(zhǎng)對(duì)薄膜的吸收是有影響的,因CO2氣體激光器轉(zhuǎn)換效率高,價(jià)格較低,所以采用CO2氣體激光器較好。在敏化過程中通過觀察元件的顏色變化來判斷敏化情況,確定激光照射的時(shí)間。在照射過程中從本色灰白變黑然后暗紅→褐色→深蘭→淺蘭→蘭灰→灰色。初步判斷時(shí)可選擇淺蘭→灰色之間為較好敏化效果范圍。對(duì)敏化后的光敏元件進(jìn)行退火處理可以提高其性能和穩(wěn)定性,退火的溫度范圍在135±10℃時(shí)更有利于提高其性能和穩(wěn)定性。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是成品率比高溫爐處理方法高,敏化條件調(diào)節(jié)迅速,敏化速度快,1分鐘左右即可敏化一化。在我們的試驗(yàn)中用激光法比用高溫爐中處理成品率高一倍以上。本發(fā)明的方法也可適用于PbSe敏化。
本發(fā)明與高溫爐處理方法相比制成的光敏元件各參數(shù)性能基本相同,優(yōu)于高溫法,且成本低,穩(wěn)定性好。用此方法做的紅外探測(cè)器可在致冷情況下或室溫工作,可用于軍事跟蹤,探測(cè),特別在導(dǎo)彈上使用,也可以用于火焰探測(cè),測(cè)溫,測(cè)濕。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





