[其他]電荷耦合器件用的半導(dǎo)體器件無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 87101951 | 申請日: | 1987-03-13 |
| 公開(公告)號: | CN1005938B | 公開(公告)日: | 1989-11-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 奈良部忠邦;真城康人 | 申請(專利權(quán))人: | 索尼公司 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 中國專利代理有限公司 | 代理人: | 肖京春;肖掬昌 |
| 地址: | 日本東*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電荷耦合器件 半導(dǎo)體器件 | ||
電荷耦合器件用的一種半導(dǎo)體器件包括一個信號輸入部分,一個將輸入信號轉(zhuǎn)變?yōu)檩d流子并轉(zhuǎn)移該載流子的電荷轉(zhuǎn)移裝置,以及一個將載流子轉(zhuǎn)變?yōu)樾盘柕男盘栞敵霾糠?。這些裝置和部分都配置在一塊半導(dǎo)體襯底上。在被轉(zhuǎn)移的載流子是電子時,信號輸出部分能將被轉(zhuǎn)移的載流子轉(zhuǎn)變?yōu)檎扔诒晦D(zhuǎn)移電子電荷的輸出信號電壓;而在被轉(zhuǎn)移的載流子是正空穴時,則轉(zhuǎn)變?yōu)榉幢扔诒晦D(zhuǎn)移正空穴電荷的輸出信號電壓。
本發(fā)明一般涉及電荷耦合器件用的半導(dǎo)體器件。更詳細(xì)地說,本發(fā)明涉及的半導(dǎo)體器件能將從電荷轉(zhuǎn)移裝置所轉(zhuǎn)移的載流子轉(zhuǎn)換為各信號并輸出這些信號。
電荷耦合器件用的半導(dǎo)體器件(它是本發(fā)明的背景技術(shù))一般包括一個信號輸入部分,一個將輸入信號轉(zhuǎn)變?yōu)檩d流子并轉(zhuǎn)移該載流子的電荷轉(zhuǎn)移裝置和一個將載流子轉(zhuǎn)變?yōu)樾盘柕男盘栞敵霾糠?,這些裝置和部分都是配置在半導(dǎo)體襯底上。
這種半導(dǎo)體器件的輸出部分包括一層連到地的p型硅襯底、一層薄的由n型離子注入制得的n型區(qū)和一層由SiO2制得的絕緣層。該薄的n型層位于p型硅襯底的上表面,而SiO2絕緣層則在n型層的上表面。在絕緣層的上表面設(shè)有一個轉(zhuǎn)移電極、一個輸出柵電極(OG電極)、一個浮置柵電極(FG電極)和一個預(yù)充電柵電極(PG電極),這些電極可以按橫向方向配置。由n型離子注入制得的起n+型擴(kuò)散區(qū)作用的預(yù)充電漏區(qū)(PD)也形成在P型硅襯底的上表面以毗連n型層區(qū)域。通過給各有一預(yù)定周期和電壓的OG電極和PG電極供應(yīng)時鐘脈沖φOG和φPG,被轉(zhuǎn)移到位于轉(zhuǎn)移電極下面某一處的n型層區(qū)的電子就可以被轉(zhuǎn)移到位于FG電極下面某一處的n型層區(qū)(其周期由時鐘脈沖φOG和φPG確定),之后再被轉(zhuǎn)移到PD區(qū)。
此外,有一個復(fù)位電壓輸入端(要加到FG電極的復(fù)位電壓就是由此輸入)被連到場效應(yīng)晶體管(FET)的漏電極。FET的源極被連到FG電極,而FET的柵電極則被連到復(fù)位脈沖φFG1加到其上的復(fù)位脈沖輸入端。當(dāng)加到復(fù)位脈沖輸入端的復(fù)位脈沖φFG1是高電平時,F(xiàn)ET被導(dǎo)通并施加復(fù)位電壓VRS給FG電極,以便給FG電極復(fù)位。
而且,F(xiàn)G電極通過一緩沖器連到輸出端,以便該輸出端可以獲得根據(jù)FG電極的電壓變化的輸出信號。
在這種類型的半導(dǎo)體器件中,被轉(zhuǎn)移的電子在由時鐘脈沖φOG和φPG所確定的時間里在FG電極下面某一處的n型層區(qū)中積累,之后,該電子被在時鐘脈沖之間被轉(zhuǎn)移到PD區(qū)。根據(jù)本器件,當(dāng)電子被轉(zhuǎn)移到PD區(qū)時,復(fù)位脈沖φFG1可以變?yōu)楦唠娖?。?dāng)復(fù)位脈沖φFG1是高電平時,F(xiàn)ET導(dǎo)通,并施加復(fù)位電壓VRS給電極FG,以便給FG電極復(fù)位。另一方面,當(dāng)電子被轉(zhuǎn)移至FG電極下面某一處的n型層區(qū)時,復(fù)位脈沖φFG可變?yōu)榈碗娖?,使FET截止而不對FG電極施加復(fù)位電壓VRS,以便借助緩沖器為輸出端提供由電子產(chǎn)生的FG電極的電壓變化,這個電壓變化用作輸出信號。
在這種類型的半導(dǎo)體器件中,當(dāng)電子由FG電極下面某一處的n型層區(qū)被轉(zhuǎn)移至PD區(qū)時,加到FG電極的電壓VFG基本上等于復(fù)位電壓VRS,而在電子被轉(zhuǎn)移時,復(fù)位電壓VRS并不加至FG電極。因此,加至FG電極的電壓反比于按復(fù)位電壓VRS的被轉(zhuǎn)移電子的電荷,即被轉(zhuǎn)移的電子數(shù)越大,加至FG電極的電壓VFG就越低。
然而,根據(jù)本發(fā)明的這種器件,為要得到響應(yīng)電壓時正比于被轉(zhuǎn)移電子電荷的輸出信號,需要將一個倒相器連接到輸出端。
在這種半導(dǎo)體器件中,可用n型硅襯底代替P型硅襯底,同時正空穴可用來作為被轉(zhuǎn)移的電荷。此時,可以得到能響應(yīng)電壓時正比于正空穴電荷的輸出信號。但為了要得到響應(yīng)電壓時反比于正空穴電荷的輸出信號,也需要將一個倒相器連接到輸出端。
因此,本發(fā)明的一個主要目的就是要消除上述的缺點(diǎn),并提供一種在其中不需要用倒相器的半導(dǎo)體器件。
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