本發(fā)明涉及從含有氟化硅的氣體中生產(chǎn)純四氟化硅的方法。例如，用粗磷酸鹽濕提取和用氫氟酸和硫酸混合物在玻璃制的設(shè)備進(jìn)行酸洗。這些氣體主要是含有四氟化硅，但也有可能含有六氟硅氧烷，氟硅酸和氫氟酸。

四氟化硅具有多種用途。

例如，用它來處理干燥混凝土部件，能很好地改進(jìn)其防水性，耐腐蝕性和耐磨性。〔G.Roederer，化學(xué)工業(yè)〔巴黎〕84，912～924，1960〕

同樣地也用來提高結(jié)晶分子篩的憎水性能。〔歐州專利，申請?zhí)枺?3107533.8〕

用來生產(chǎn)高分散性的硅酸和氫氟酸。〔美國專利，NO：3，969，485，西德offenlegungsschrift2132426，2132428，2132429〕。

它適合于生產(chǎn)原硅酸酯。〔西德專利NO.2609769〕。

也能從它得到高質(zhì)量的硅。〔西德.Offenlegungsschrift????3206766，A，Sanjurjo????et，al，J，Electrochem????soc，128（1981）179～184〕

同樣可用于制造用于光電池的無定形硅。〔cf，例如，Makoto????Kouagai，at，al，應(yīng)用物理通訊，36，（1980）599andA，Madan，S，R，ovshinsky，E，Benn，phil，Mag，B40，259〔1979）〕

也可用于制造硅烷。〔D，K，Padma????et.al，J，氟化學(xué)，1979，14（4），327-9，西德專利NO，1034159，西德專利NO，1080077，美國專利NO，2，933，374〕。

同樣適用于作為一種蝕刻介質(zhì)用于在半導(dǎo)體工業(yè)中含硅材料上。〔美國專利.NO，4，262，409〕。

早已知道〔Proc，F(xiàn)evt，soc，（PERSAZ）V163，1977）從廢汽中生產(chǎn)四氟化硅是在用粗磷酸鹽濕提取時(shí)通過水解廢汽而獲得的，溶解沉淀的硅酸，用含有氫氟酸的廢汽把它們轉(zhuǎn)變成為約20%的六氟硅酸溶液，該溶液在鎳合金的容器中于100～110℃下分解，用濃硫酸以生成四氟化硅，在這些條件下，它是具有揮發(fā)性的，可加入六氟化硅酸溶液直到硫酸的濃度降低到70～75%時(shí)為止。

應(yīng)用此方法的問題是原材料，從酸的腐蝕性觀點(diǎn)來看，混合液必需在高的反應(yīng)溫度和形成了大量的廢硫酸，這樣就被氟化合物所污染。

本發(fā)明基于此問題提供一個(gè)生產(chǎn)純四氟化硅的工藝，而沒有產(chǎn)生難于可利用的付產(chǎn)物。

本發(fā)明的根據(jù)是發(fā)現(xiàn)，采用轉(zhuǎn)變所得的水解物來解決這個(gè)問題。即使用氟化鈉，氟化鉀或氟化鋇來水解含有氟化硅的氣體，轉(zhuǎn)變?yōu)橐粋€(gè)簡單的產(chǎn)物，成為相對應(yīng)的堿或堿士六氟化硅，雖然水解產(chǎn)物過含有絡(luò)合物。然后，六氟化硅能進(jìn)一步地以一個(gè)簡單的方法生成純的四氟化硅。

本發(fā)明的目的是生產(chǎn)四氟化硅的方法。其特征在于，氣體含有被水解了的氟化硅，水解產(chǎn)物同氟化鈉，氟化鉀，或氟化鋇反應(yīng)，得到的反應(yīng)產(chǎn)物被熱分解，由此生成四氟化硅。

本發(fā)明的特殊優(yōu)點(diǎn)在于當(dāng)在熱分解再在循環(huán)期間，能生成金屬氟化物。

本發(fā)明可根據(jù)下列方程式來說明，