[發(fā)明專利]一種晶圓研磨拋光系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202310177290.6 | 申請日： | 2023-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN116394153B | 公開（公告）日： | 2023-10-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鄭勇;高敬帥;楊華斌 | 申請（專利權）人： | 名正(浙江)電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/08 | 分類號： | B24B37/08;B24B37/02;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B57/02;B24B37/005;B24B49/00 |
| 代理公司： | 浙江嘉騰專利代理有限公司 33515 | 代理人： | 熊亮亮 |
| 地址： | 314023 浙江省嘉*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 研磨 拋光 系統(tǒng) | ||
1.一種晶圓研磨拋光系統(tǒng)，包括執(zhí)行系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，其特征在于，所述執(zhí)行系統(tǒng)包括支撐組件(1)，所述支撐組件(1)的上方設有轉動組件(2)，所述轉動組件(2)的上方設有研磨組件(3)，所述研磨組件(3)的上方設有拋光組件(4)，所述研磨組件(3)的側方設有拋光液添加組件(5)；
所述控制系統(tǒng)包括主控制器、驅動模塊、信號采集模塊和信號處理分析模塊，主控制器與驅動模塊、信號采集模塊和信號處理分析模塊連接，用于控制整個系統(tǒng)運行，
驅動模塊，與主控制器連接，用于執(zhí)行系統(tǒng)中各驅動源工作；
信號采集模塊，與主控制器連接，用于采集研磨拋光過程中的壓力和振動信號；
信號處理分析模塊，與主控制器連接，用于分析信號采集的相關數據，判斷拋光墊的磨損程度。
2.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述支撐組件(1)包括支撐板(11)，所述支撐板(11)的頂部一側設有對稱分布的兩塊第一安裝板(12)，所述支撐板(11)的頂部另一側設有第一安裝桿(13)，所述第一安裝桿(13)的頂部設有對稱分布的兩塊第二安裝板(14)，所述支撐板(11)的頂部中間設有第二安裝桿(15)，所述第二安裝桿(15)的一端設有支撐筒(16)。
3.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述轉動組件(2)包括第一電動機(21)，所述第一電動機(21)固定在位于一側的第一安裝板(12)上，所述第一電動機(21)的輸出軸貫穿第一安裝板(12)固定連接有蝸桿(22)，所述蝸桿(22)的側方設有蝸輪(23)，所述蝸輪(23)與蝸桿(22)嚙合，所述蝸輪(23)的兩側設有對稱分布的兩個第一齒輪(24)，且兩個第一齒輪(24)與蝸輪(23)嚙合，所述第一齒輪(24)和蝸輪(23)的底部都與支撐板(11)嚙合，位于一側的第一齒輪(24)的頂部設有連接桿(25)，所述連接桿(25)的頂部設有第二齒輪(26)。
4.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述研磨組件(3)包括第三齒輪(31)，所述第三齒輪(31)和第一齒輪(24)規(guī)格一樣，所述第三齒輪(31)與第二齒輪(26)嚙合，所述第三齒輪(31)的頂部設有轉動柱(32)，所述轉動柱(32)套設在支撐筒(16)內部，且轉動柱(32)與支撐筒(16)轉動連接，所述轉動柱(32)的頂部設有研磨盤(33)，所述研磨盤(33)底部和側壁都設有拋光墊(34)。
5.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述拋光組件(4)包括轉動桿(41)，所述轉動桿(41)與位于另一側的第一齒輪(24)的頂部固定連接，所述轉動桿(41)依次貫穿第三齒輪(31)、轉動柱(32)和研磨盤(33)，且所述轉動桿(41)的頂部設有第三安裝板(42)，所述第三安裝板(42)上開設有對稱分布的兩個安裝槽(43)，所述轉動桿(41)的兩側設有對稱分布的兩個拋光機構(44)，所述拋光機構(44)設置在研磨盤(33)的上方。
6.根據權利要5所述的一種晶圓研磨拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述拋光機構(44)包括固定板(441)，所述固定板(441)的兩側設有對稱分布的兩個螺栓組件(442)，固定板(441)通過螺栓組件(442)可拆卸固定在安裝槽(43)內，所述固定板(441)的底部設有電動氣缸(443)，所述電動氣缸(443)的輸出軸固定連接有第四安裝板(444)，所述第四安裝板(444)的一端頂部固定有第二電動機(445)，所述第二電動機(445)的輸出軸貫穿第四安裝板(444)固定連接有晶圓承載頭(446)。
7.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述拋光液添加組件(5)包括安裝筒(51)，所述安裝筒(51)的兩側設有對稱分布的兩個轉動軸(52)，所述轉動軸(52)與第二安裝板(14)活動連接，所述安裝筒(51)內活動安裝有拋光液添加管(53)，所述拋光液添加管(53)的一端設置在研磨盤(33)上方。
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