本發(fā)明公開的一種單晶棒自動拆卸的單晶爐及其拆卸方法，包括單晶爐底座，所述單晶爐底座上設(shè)有單晶爐主體，所述單晶爐主體用于生產(chǎn)單晶棒，所述單晶爐底座左側(cè)設(shè)有機架，所述機架前側(cè)端面上設(shè)有單晶棒拆卸機構(gòu)，所述單晶棒拆卸機構(gòu)用于提供拆卸單晶棒所需的橫移運動以及儲存單晶棒所需的旋轉(zhuǎn)運動，所述單晶棒拆卸機構(gòu)上設(shè)有單晶棒夾持機構(gòu)，所述機架上設(shè)有位于所述單晶棒夾持機構(gòu)下側(cè)的單晶棒儲存機構(gòu)，所述單晶棒儲存機構(gòu)用于儲存單晶棒，本發(fā)明能實現(xiàn)自動化拆卸單晶棒，有效避免人員在拆卸轉(zhuǎn)運過程中被燙傷，且無需在轉(zhuǎn)運單晶棒時二次裝夾單晶棒，減少工序并降低單晶棒拆卸轉(zhuǎn)運過程中受損概率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單晶棒自動拆卸的單晶爐及其拆卸方法。

背景技術(shù)

單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備，在單晶爐完成單晶棒生產(chǎn)后需要將單晶棒取出，目前單晶棒拆卸取出工作大多為人工操作半自動機械進行作業(yè)，由于單晶爐內(nèi)部溫度較高，使得操作人員在工作中容易被燙傷，且單晶棒拆卸取出工作中單晶棒容易損傷，本發(fā)明闡明的一種能解決上述問題的設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問題：目前單晶棒拆卸取出工作大多為人工操作半自動機械進行作業(yè)，由于單晶爐內(nèi)部溫度較高，使得操作人員在工作中容易被燙傷。

為解決上述問題，本例設(shè)計了一種單晶棒自動拆卸的單晶爐，包括單晶爐底座，所述單晶爐底座上設(shè)有單晶爐主體，所述單晶爐主體用于生產(chǎn)單晶棒，所述單晶爐底座左側(cè)設(shè)有機架，所述機架前側(cè)端面上設(shè)有單晶棒拆卸機構(gòu)，所述單晶棒拆卸機構(gòu)用于提供拆卸單晶棒所需的橫移運動以及儲存單晶棒所需的旋轉(zhuǎn)運動，所述單晶棒拆卸機構(gòu)上設(shè)有單晶棒夾持機構(gòu)，所述機架上設(shè)有位于所述單晶棒夾持機構(gòu)下側(cè)的單晶棒儲存機構(gòu)，所述單晶棒儲存機構(gòu)用于儲存單晶棒，所述單晶棒夾持機構(gòu)用于夾持所述單晶爐主體內(nèi)的單晶棒并切斷籽晶，從而拆卸下單晶棒，所述單晶棒拆卸機構(gòu)能帶動所述單晶棒夾持機構(gòu)將拆卸下的單晶棒放置到所述單晶棒儲存機構(gòu)上，所述單晶棒儲存機構(gòu)包括設(shè)置于所述機架前側(cè)的夾取罩，所述夾取罩內(nèi)設(shè)有開口朝右的夾取腔，所述夾取腔上側(cè)內(nèi)壁上設(shè)有上下貫通且開口朝右的通槽，所述夾取腔上側(cè)端面上設(shè)有位于所述通槽后側(cè)的自動復(fù)位氣缸機構(gòu)三，所述自動復(fù)位氣缸機構(gòu)三內(nèi)設(shè)有向前延伸的活塞桿三，所述活塞桿三上固定連接有切斷刀，所述切斷刀用于切斷所述籽晶，所述夾取腔左側(cè)內(nèi)壁上設(shè)有開口朝右的滑孔二，所述滑孔二內(nèi)滑動連接有滑板，所述滑板與所述滑孔二左側(cè)內(nèi)壁之間連接有壓縮彈簧一。

可優(yōu)選地，所述單晶爐主體包括設(shè)置于所述單晶爐底座內(nèi)且開口朝上的單晶爐內(nèi)腔，所述單晶爐底座上設(shè)有單晶爐封蓋，所述單晶爐封蓋內(nèi)設(shè)有開口朝下的單晶爐封腔，所述單晶爐封腔內(nèi)設(shè)有籽晶軸升降機構(gòu)，所述籽晶軸升降機構(gòu)上設(shè)有籽晶，所述籽晶下側(cè)設(shè)有單晶棒，所述單晶爐底座右側(cè)設(shè)有絲杠螺母升降機構(gòu)，所述絲杠螺母升降機構(gòu)上設(shè)有升降螺母，所述升降螺母與所述單晶爐封蓋右側(cè)端面固定連接。

可優(yōu)選地，所述單晶棒拆卸機構(gòu)包括固定連接于所述機架前側(cè)端面上的直線機構(gòu)，所述直線機構(gòu)內(nèi)設(shè)有向右延伸的橫移桿，所述橫移桿下側(cè)端面上固定連接有推塊一，所述橫移桿上設(shè)有上下貫通的通孔，所述機架前側(cè)端面上滑動連接有位于所述橫移桿右側(cè)的橫移塊，所述橫移塊內(nèi)設(shè)有開口朝左的盲孔，所述盲孔上側(cè)內(nèi)壁上設(shè)有開口朝上的滑孔一，所述滑孔一內(nèi)滑動連接有插銷，所述插銷上固定連接有連接桿一，所述連接桿一與所述橫移塊上側(cè)端面之間連接有拉伸彈簧，所述連接桿一下側(cè)端面上固定連接有位于所述橫移塊左側(cè)的推桿，所述橫移塊前側(cè)端面上轉(zhuǎn)動連接有向前延伸的轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸上固定連接有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿與所述夾取罩左側(cè)端面固定連接，所述轉(zhuǎn)軸上固定連接位于所述轉(zhuǎn)桿前側(cè)的齒輪，所述機架前側(cè)端面上固定連接有位于所述橫移塊上側(cè)的支撐桿，所述支撐桿下側(cè)端面上固定連接有連接桿二，所述連接桿二上固定連接有齒條，所述齒條能與所述齒輪嚙合連接，所述機架前側(cè)端面上固定連接有位于所述橫移桿上側(cè)的降溫及余熱回收機構(gòu)。

可優(yōu)選地，所述橫移塊只能左右移動，且所述橫移塊能脫離所述機架。