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[實用新型]一種便于探針多屬性測試的多功能探針綜合測試機(jī)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202020567176.6 申請日: 2020-04-16
公開(公告)號: CN211926936U 公開(公告)日: 2020-11-13
發(fā)明(設(shè)計)人: 劉偉炫;劉雄波 申請(專利權(quán))人: 東莞市鴻達(dá)測量儀器有限公司
主分類號: G01D21/02 分類號: G01D21/02;G01D11/24;G01D11/30
代理公司: 廣東榮海知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44630 代理人: 劉賽軍
地址: 523000 廣東省東莞市長安*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 便于 探針 屬性 測試 多功能 綜合測試
【權(quán)利要求書】:

1.一種便于探針多屬性測試的多功能探針綜合測試機(jī),包括機(jī)器外殼(1)、Z軸馬達(dá)(4)、X軸馬達(dá)(12)和Y軸馬達(dá)(19),其特征在于:所述機(jī)器外殼(1)的內(nèi)部固定安裝有Z軸導(dǎo)向桿(2),且Z軸導(dǎo)向桿(2)的外側(cè)套設(shè)有Z軸導(dǎo)向塊(3),并且Z軸導(dǎo)向桿(2)的下端固定安裝有Z軸馬達(dá)(4),所述Z軸導(dǎo)向桿(2)上固定有第一懸臂梁(5)和第二懸臂梁(6),且第一懸臂梁(5)和第二懸臂梁(6)的外壁上分別固定連接有第一荷重傳感器(7)和第二荷重傳感器(8),并且第一荷重傳感器(7)的底部垂直安裝有探針壓板(9),所述第二荷重傳感器(8)的底部固定連接有絕緣柱(10),且絕緣柱(10)的下端固定安裝有測試頭(11),所述X軸馬達(dá)(12)固定于基座底板(28)上,且基座底板(28)安裝于機(jī)器外殼(1)的底部,并且X軸馬達(dá)(12)的端部通過聯(lián)軸器(13)連接有X軸螺桿(14),而且X軸螺桿(14)的邊側(cè)安裝有X軸導(dǎo)軌(15),所述X軸螺桿(14)和X軸導(dǎo)軌(15)上滑動安裝有X軸導(dǎo)向塊(16),且X軸導(dǎo)向塊(16)的頂部固定有Y軸螺桿(17)和Y軸導(dǎo)軌(18)及Y軸馬達(dá)(19),Y軸導(dǎo)軌(18)和Y軸馬達(dá)(19)之間通過同步輪(20)和同步帶(21)相互連接,而且Y軸導(dǎo)軌(18)的邊側(cè)固定有極限位開關(guān)(22),所述Y軸螺桿(17)和Y軸導(dǎo)軌(18)上活動安裝有Y軸導(dǎo)向塊(23),且Y軸導(dǎo)向塊(23)的頂部固定有絕緣板(24),并且絕緣板(24)的頂部固定安裝有探針治具(25),而且探針治具(25)和測試頭(11)上均設(shè)置有阻抗采集導(dǎo)線接口(26),同時探針治具(25)的頂部固定連接有探針本體(27)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測試的多功能探針綜合測試機(jī),其特征在于:所述第一懸臂梁(5)和第二懸臂梁(6)相互平行設(shè)置,且第一懸臂梁(5)和第二懸臂梁(6)與機(jī)器外殼(1)為貫穿的滑動安裝結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測試的多功能探針綜合測試機(jī),其特征在于:所述X軸螺桿(14)和Y軸螺桿(17)之間相互垂直分布,且X軸螺桿(14)和Y軸螺桿(17)的所在面相互錯位。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測試的多功能探針綜合測試機(jī),其特征在于:所述X軸導(dǎo)向塊(16)和Y軸導(dǎo)向塊(23)分別與X軸螺桿(14)和Y軸螺桿(17)之間為貫穿的螺紋連接,且X軸導(dǎo)向塊(16)和Y軸導(dǎo)向塊(23)的底部邊緣處分別與X軸導(dǎo)軌(15)和Y軸螺桿(17)為貫穿滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測試的多功能探針綜合測試機(jī),其特征在于:所述Y軸導(dǎo)向塊(23)的頂部與機(jī)器外殼(1)之間貫穿設(shè)置,且機(jī)器外殼(1)和Y軸導(dǎo)向塊(23)的貫穿連接處邊側(cè)設(shè)置為褶皺網(wǎng)狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于探針多屬性測試的多功能探針綜合測試機(jī),其特征在于:所述探針本體(27)在探針治具(25)上等間距均勻分布,且探針本體(27)在探針治具(25)上呈8×10的規(guī)格設(shè)置。

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