[實用新型]一種硅片上下料傳輸系統有效
| 申請號： | 202020297454.0 | 申請日： | 2020-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN211743111U | 公開（公告）日： | 2020-10-23 |
| 發明（設計）人： | 董平博;連建軍;李新豐;王彥齊 | 申請（專利權）人： | 蘇州邁為科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 江蘇瑞途律師事務所 32346 | 代理人： | 王珒 |
| 地址： | 215200 江蘇省蘇州市吳江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 上下 傳輸 系統 | ||
1.一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：包括硅片定位機構(100)、硅片載具(200)、硅片變距搬運機構(300)和皮帶傳輸機構(400)，所述硅片變距搬運機構(300)用于將硅片(500)從所述硅片定位機構(100)搬運至所述硅片載具(200)上或者將硅片(500)從所述硅片載具(200)上搬運至所述皮帶傳輸機構(400)，且所述硅片變距搬運機構(300)用于對所述硅片(500)進行變距調節，以使所述硅片(500)能夠分別與所述硅片定位機構(100)以及所述硅片載具(200)上的硅片口袋相匹配。
2.根據權利要求1所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述硅片定位機構(100)與所述皮帶傳輸機構(400)配合設置，所述硅片定位機構(100)用于對所述皮帶傳輸機構(400)上的硅片(500)進行定位以供所述硅片變距搬運機構(300)進行搬運。
3.根據權利要求2所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述硅片定位機構(100)包括底板(110)，所述底板(110)上設有水平滑座(111)，所述水平滑座(111)通過連接板(113)與升降滑座(114)連接，所述升降滑座(114)用于驅動所述硅片(500)升降。
4.根據權利要求3所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述升降滑座(114)上沿其長度方向設有定位件(116)，所述硅片口袋設置于相鄰兩組定位件(116)之間。
5.根據權利要求1～3任一項所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述硅片載具(200)上設有凹槽(210)以及支撐結構(211)，所述硅片口袋由所述凹槽(210)形成，所述支撐結構(211)沿所述硅片(500)的輸送方向設置。
6.根據權利要求5所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述凹槽(210)沿所述支撐結構(211)的設置方向呈矩形陣列分布，且相鄰兩個支撐結構(211)之間的凹槽(210)等距分布。
7.根據權利要求5所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述硅片變距搬運機構(300)包括懸吊架，所述懸吊架上設有變距機構(310)和吸盤組件(320)，所述變距機構(310)用于驅動吸盤組件(320)沿垂直于所述支撐結構(211)的設置方向運動。
8.根據權利要求7所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述變距機構(310)分別設置于所述懸吊架的兩端，所述變距機構(310)的底部設有所述吸盤組件(320)，通過兩端的變距機構(310)實現對所述吸盤組件(320)的雙向變距調節。
9.根據權利要求7所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述變距機構(310)包括沿所述懸吊架長度方向設置的變距滑軌(315)以及與該變距滑軌(315)相配合的滑座(318)，所述吸盤組件(320)通過滑座(318)與所述變距機構(310)滑動連接。
10.根據權利要求9所述的一種硅片上下料傳輸系統，其特征在于：所述變距機構(310)還包括傳感器(316)，所述傳感器(316)設置于所述變距滑軌(315)的末端以用于檢測所述滑座(318)沿懸吊架長度方向的運動距離。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
