[發明專利]一種高功率密度熱源器件及其制造方法在審
| 申請號: | 202011504641.2 | 申請日: | 2020-12-17 |
| 公開(公告)號: | CN112616204A | 公開(公告)日: | 2021-04-06 |
| 發明(設計)人: | 郭懷新;周建軍;王元 | 申請(專利權)人: | 南京中電芯谷高頻器件產業技術研究院有限公司 |
| 主分類號: | H05B3/03 | 分類號: | H05B3/03;H05B3/06;H05B3/02;H05B3/14 |
| 代理公司: | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人: | 陳鵬 |
| 地址: | 210000 江蘇省南京市秦淮區永*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 功率密度 熱源 器件 及其 制造 方法 | ||
1.一種高功率密度熱源器件,其特性在于,包括功能管芯(1)、框架外殼(2)、內部鍵合金絲(3)和互聯輸入端(4);
所述框架外殼(2)采用內嵌結構,功能管芯(1)嵌入框架外殼底部,直接與外部散熱器件接觸傳熱;所述內部鍵合金絲(3)用于連接互聯輸入端(4)和功能管芯(1)上的電極,實現對功能管芯(1)的電路輸入;所述互聯輸入端(4)采用鍵合基板與垂直插拔式銅管結構,實現對高功率密度熱源器件的功率輸入。
2.根據權利要求1所述的高功率密度熱源器件,其特征在于,所述功能管芯(1)的電極采用蛇形等列遞減陣列結構。
3.根據權利要求2所述的高功率密度熱源器件,其特征在于,電極寬度在10um-200um之間,厚度在1um-8um之間。
4.根據權利要求1所述的高功率密度熱源器件,其特征在于,所述功能管芯(1)材料為SiC和金剛石材料的任意一種,厚度為80um-500um。
5.根據權利要求1所述的高功率密度熱源器件,其特征在于,所述框架外殼(2)材料采用氮化鋁陶瓷材料。
6.根據權利要求1所述的高功率密度熱源器件,其特征在于,所述框架外殼(2)需保證功能管芯(1)的電極處于裸露狀態。
7.根據權利要求1所述的高功率密度熱源器件,其特征在于,所述內部鍵合金絲(3)為陣列等間距排列。
8.根據權利要求1所述的高功率密度熱源器件,其特征在于,所述互聯輸入端(4)材料為銅材料。
9.一種如權利要求1-8任意一項所述高功率密度熱源器件的制造方法,其特征在于,包括:將框架外殼和互聯輸入端采用銀銅焊料集成;利用金錫焊料將功能管芯和框架外殼集成;采用通用鍵合機實現內部鍵合金絲,完成高功率密度熱源器件的制備。
10.根據權利要求9所的制造方法,其特征在于,所述功能管芯設計有電極PAD區和與外殼集成PAD區;所述框架外殼設計有與功能管芯集成PAD區和與鍵合基板集成PAD區;所述互聯輸入端的鍵合基板上設計有PAD區,其長度與功能管芯的電極PAD區長度相同。
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