[發明專利]一種用于密閉空間微量有害氣體檢測及校準的裝置及方法有效
| 申請號： | 202011464931.9 | 申請日： | 2020-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN112782264B | 公開（公告）日： | 2023-10-24 |
| 發明（設計）人： | 丁棟;成永軍;陳聯;孫冬花;孫雯君;裴曉強;馮天佑;李玉成;張瑞年 | 申請（專利權）人： | 蘭州空間技術物理研究所 |
| 主分類號： | G01N27/62 | 分類號： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京理工大學專利中心 11120 | 代理人： | 代麗 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 密閉 空間 微量 有害 氣體 檢測 校準 裝置 方法 | ||
1.一種用于密閉空間微量有害氣體檢測及校準的裝置，其特征在于，包括：氣體取樣管路(1)、取樣閥(8)、取樣室(9)、取樣泵(11)、質譜室(14)、小孔A(15)、真空泵(16)、標準氣室(20)、小體積(22)、進樣室(25)和小孔B(27)；
其中，氣體取樣管路(1)、取樣閥(8)、取樣室(9)、第一截止閥(10)、進樣閥(12)、質譜室(14)依次連接；取樣泵(11)經第一截止閥(10)接取樣室(9)；真空泵(16)經小孔A(15)接質譜室(14)；質譜室(14)還接有質譜計(18)和壓力計A(13)，質譜計(18)用于測量質譜室(14)內有害氣體成分及濃度含量；壓力計A(13)用于測量質譜室(14)內的真空度；
標準氣室(20)、第二截止閥(21)、小體積(22)、第三截止閥(23)、進樣室(25)依次連接；進樣室(25)經第四截止閥(26)、小孔B(27)、第五截止閥(28)接質譜室(14)；取樣泵(11)經校準閥(19)接進樣室(25)；進樣室(25)還接有壓力計B(24)，用于測量進樣室(25)內的真空度；
其中，標準氣室(20)內的標準氣與密閉空間內的有害氣體的成分及含量一致；進樣室(25)的體積與質譜室(14)相當，小體積(22)與進樣室(25)的體積比為1:800～1:1200；氣體以分子流的形式通過小孔A(15)和小孔B(27)；質譜室的真空度高于10-3Pa，進樣室(25)的真空度小于100Pa。
2.如權利要求1所述裝置，其特征在于，所述質譜室(14)的體積為10～20L。
3.如權利要求1所述裝置，其特征在于，所述氣體取樣管路(1)為多路，所述取樣閥(8)為對應取樣管路的閥門組合；閥門組合每次只開啟一個取樣閥進行檢測。
4.如權利要求3所述裝置，其特征在于，多路氣體取樣管路設置在密閉空間內的關鍵點以及密閉空間內的凈化系統。
5.如權利要求1所述裝置，其特征在于，所述進樣閥(12)為微調閥。
6.一種密閉空間微量有害氣體的檢測方法，其特征在于，采用如權利要求1所述的裝置進行檢測，包括如下步驟：初始時，所有閥門均處于關閉狀態；
步驟一、打開真空泵(16)，將質譜室(14)抽真空至本底；
步驟二、開啟取樣泵(11)，打開取樣閥(8)、第一截止閥(10)，將密閉空間內氣體收集至取樣室(9)內；
步驟三、緩慢打開進樣閥(12)，將取樣室(9)氣體進樣至質譜室(14)，保持質譜室(14)真空度范圍在質譜計的工作范圍；利用質譜計(18)對質譜室(14)內有害氣體的成分及濃度進行分析，并給出檢測結果。
7.如權利要求6所述的檢測方法，其特征在于，還包括步驟四～步驟六：
步驟四，根據步驟三的檢測結果配比相應的混合氣體作為標準氣；
步驟五、工作一段時間后，關閉進樣閥(12)、第一截止閥(10)，打開校準閥(19)和第三截止閥(23)，對小體積(22)和進樣室(25)抽真空至本底；
步驟六、進樣室(25)真空度穩定在100Pa以內后，關閉校準閥(19)和第三截止閥(23)，打開第二截止閥(21)；將標準氣室(20)內的標準氣引入小體積(22)內，待小體積(22)壓力穩定后，關閉第二截止閥(21)，緩慢打開第三截止閥(23)，將小體積(22)內的氣體靜態膨脹至進樣室(25)，且進樣室(25)的壓力保持在100Pa以內；
步驟七、待進樣室(25)壓力穩定后，打開第四截止閥(26)、第五截止閥(28)，將進樣室(25)內的氣體通過小孔B(27)引入質譜室(14)內，質譜計(18)對質譜室(14)內的有害氣體的成分及濃度進行分析，然后與標準氣的成分及濃度進行比對，得出校準因子；通過校準因子對質譜計(18)進行校準。
8.如權利要求6或7所述的檢測方法，其特征在于，所述氣體取樣管路(1)為多路，所述取樣閥(8)為對應取樣管路的閥門組合；閥門組合每次只開啟一個取樣閥；
重復步驟一～三，通過打開不同取樣管路和取樣閥，對密閉空間中設置的不同檢測點進行檢測。
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