技術(shù)問(wèn)題：提供一種有助于提高被加工物的品質(zhì)的保持器接頭及保持器組件。解決方案：保持器接頭(100)具備：軸(700)，其形成保持器單元(800)的旋轉(zhuǎn)中心軸；以及軸承部(200)，其支撐軸(700)。軸承部(200)包含徑向軸承(300)及推力軸承(400)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種保持器接頭及保持器組件。

背景技術(shù)

在脆性材料基板等被加工物的劃線加工中使用劃線裝置。劃線裝置對(duì)被加工物掃描劃線輪，在被加工物上形成劃分線。在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載有現(xiàn)有的劃線裝置的一例。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2018-140597號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題

在劃線加工時(shí)劃線輪的狀態(tài)不穩(wěn)定的情況下，被劃線加工的被加工物的品質(zhì)有可能降低。

本發(fā)明的目的在于提供一種有助于提高被加工物的品質(zhì)的保持器接頭及保持器組件。

(二)技術(shù)方案

本發(fā)明的保持器接頭具備：軸，其形成保持器單元的旋轉(zhuǎn)中心軸；以及軸承部，其支撐所述軸，所述軸承部包含徑向軸承及推力軸承。

根據(jù)上述保持器接頭，軸承部承受徑向載荷及軸向載荷，軸的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定。因此，劃線加工時(shí)的劃線輪的狀態(tài)穩(wěn)定。這有助于提高被加工物的品質(zhì)。

在所述保持器接頭的一例中，所述軸包含形成所述旋轉(zhuǎn)中心軸的軸主體、以及設(shè)置于所述軸主體的傳遞部，所述傳遞部構(gòu)成為，向所述徑向軸承傳遞徑向載荷，向所述推力軸承傳遞軸向載荷。

根據(jù)上述保持器接頭，軸承部適當(dāng)承受徑向載荷及推力載荷。

在所述保持器接頭的一例中，所述傳遞部包含與所述徑向軸承的內(nèi)圈接觸以向所述徑向軸承傳遞徑向載荷的第一傳遞部、以及與所述推力軸承的端面接觸以向所述推力軸承傳遞軸向載荷的第二傳遞部。

根據(jù)上述保持器接頭，適當(dāng)向徑向軸承傳遞徑向載荷，并適當(dāng)向推力軸承傳遞軸向載荷。

在所述保持器接頭的一例中，所述第二傳遞部包含設(shè)置于所述軸主體的凸緣。

根據(jù)上述保持器接頭，簡(jiǎn)化關(guān)于第二傳遞部的結(jié)構(gòu)。

在所述保持器接頭的一例中，所述推力軸承設(shè)置于沿著所述旋轉(zhuǎn)中心軸的方向上的所述徑向軸承與所述保持器單元之間。

根據(jù)上述保持器接頭，從保持器單元側(cè)朝向保持器接頭移動(dòng)的異物不易進(jìn)入徑向軸承的內(nèi)部。

在所述保持器接頭的一例中，所述軸承部包含對(duì)所述徑向軸承及所述推力軸承中的至少一個(gè)進(jìn)行支撐的軸承支撐部。

根據(jù)上述保持器接頭，徑向軸承及推力軸承中的至少一個(gè)對(duì)軸的支撐狀態(tài)穩(wěn)定。

在所述保持器接頭的一例中，所述軸承支撐部包含收納所述徑向軸承及所述推力軸承的收納部。

根據(jù)上述保持器接頭，保護(hù)徑向軸承及推力軸承。

在所述保持器接頭的一例中，所述軸承支撐部包含以支撐所述徑向軸承的內(nèi)圈的方式設(shè)置于所述徑向軸承與所述推力軸承之間的內(nèi)圈支撐部。

根據(jù)上述保持器接頭，抑制內(nèi)圈在沿著軸的中心軸的方向上的移動(dòng)。這有助于劃線加工時(shí)的軸及劃線輪的狀態(tài)的穩(wěn)定化。

本發(fā)明的保持器組件具備所述保持器接頭、所述保持器單元。

根據(jù)上述保持器組件，軸承部承受徑向載荷及軸向載荷，軸的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定。因此，劃線加工時(shí)的劃線輪的狀態(tài)穩(wěn)定。這有助于提高被加工物的品質(zhì)。

(三)有益效果