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[發明專利]連續鍍膜設備和連續鍍膜方法在審

專利信息
申請號: 202011218185.5 申請日: 2020-11-04
公開(公告)號: CN112281135A 公開(公告)日: 2021-01-29
發明(設計)人: 宗堅 申請(專利權)人: 江蘇菲沃泰納米科技有限公司
主分類號: C23C14/56 分類號: C23C14/56
代理公司: 寧波理文知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 33244 代理人: 羅京;鄭盈
地址: 214112 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 連續 鍍膜 設備 方法
【權利要求書】:

1.一連續鍍膜設備,適于為待鍍膜樣品鍍膜,其特征在于,包括:

一放電裝置;

一進料裝置;

一抽真空裝置;

一工作腔體,其中所述工作腔體具有一工作腔;以及

至少一輔助腔體,其中所述輔助腔體能夠形成有一個輔助腔,所述輔助腔用于轉移樣品,其中所述放電裝置用于向所述工作腔體的所述工作腔放電,其中所述進料裝置用于向所述工作腔體的所述工作腔進料,所述工作腔體和所述輔助腔體被真空度可控地連接于所述抽真空裝置,其中每一所述輔助腔體和所述工作腔體之間具有一封閉狀態和一連通狀態并且被可操作地在所述封閉狀態和所述連通狀態之間變換,在所述連通狀態,所述輔助腔體和所述工作腔體之間能夠進行樣品轉移并且保持和外界封閉,在所述封閉狀態,所述輔助腔體和所述工作腔體之間保持獨立,其中在所述封閉狀態,至少一個被放置有該待鍍膜樣品的所述輔助腔體被提前抽真空以為連通于所述工作腔體以轉移該待鍍膜樣品做好準備,至少一個所述輔助腔體被提前抽真空以為連通于所述工作腔體以承接來自于所述工作腔體的樣品做好準備,以使得所述工作腔體在所述封閉狀態和所述連通狀態之間變換時真空度能夠被控制在預設范圍內,從而所述工作腔體能夠連續作業。

2.根據權利要求1所述的連續鍍膜設備,其中所述工作腔體具有一入口和一出口,其中所述輔助腔體的數目是兩個,一個所述輔助腔體被設置于所述工作腔體的所述入口位置,另一個所述輔助腔體被設置于所述工作腔體的所述出口位置,在所述工作腔體內的該樣品完成鍍膜之前,設置于所述工作腔體的所述入口位置的被裝載有該待鍍膜樣品的所述輔助腔體和設置于所述工作腔體的所述出口位置的所述輔助腔體被分別抽真空至預設范圍,在所述工作腔體內的該樣品完成鍍膜之后,兩個所述輔助腔體分別變換為所述連通狀態,以使得所述工作腔體內的該樣品被轉移至位于所述出口位置的所述輔助腔體,位于所述入口位置的所述輔助腔體內的該樣品被轉移至所述工作腔體,以連續地進行鍍膜。

3.根據權利要求1所述的連續鍍膜設備,其中所述工作腔體具有一入口和一出口,其中所述輔助腔體的數目是兩個并且分別被實施為第一輔助腔體和第二輔助腔體,其中所述第一輔助腔體具有一第一輔助腔并且被可連通地連接于所述工作腔體的所述工作腔,所述第二輔助腔體具有一第二輔助腔并且被可連通地連接于所述工作腔體的所述工作腔,其中所述第一輔助腔體被可在通過連通所述工作腔體的所述入口以連通于所述工作腔和通過連通于所述工作腔體的所述出口以連通于所述工作腔之間變換,所述第二輔助腔體被可在通過連通所述工作腔體的所述入口以連通于所述工作腔和通過連通于所述工作腔體的所述出口以連通于所述工作腔之間變換。

4.根據權利要求1所述的連續鍍膜設備,其中所述連續鍍膜設備進一步包括一鍍膜腔體,其中所述鍍膜腔體包括至少兩個可移動隔板和一鍍膜圍壁,其中所述工作腔形成于所述可移動隔板之間,所述輔助腔體形成于所述移動隔板和所述鍍膜圍壁之間。

5.根據權利要求1所述的連續鍍膜設備,其中所述連續鍍膜設備進一步包括一緩沖腔體,其中所述緩沖腔體具有一緩沖腔,所述工作腔體被設置于所述緩沖腔體的所述緩沖腔,所述輔助腔體被可連通地連接于所述緩沖腔體。

6.根據權利要求5所述的連續鍍膜設置,其中所述連續鍍膜設備進一步包括一裝載裝置,其中所述裝載裝置適于裝載該待鍍膜樣品,所述輔助腔體連通于所述緩沖腔體,所述裝載裝置適于自所述輔助腔體的所述輔助腔移動至所述緩沖腔體的所述緩沖腔,然后所述裝載裝置適于自所述緩沖腔體的所述緩沖腔被移動至所述工作腔體的所述工作腔。

7.根據權利要求6所述的連續鍍膜裝置,其中所述緩沖腔體被可連通地連接于所述進料裝置,所述進料裝置適于所述緩沖腔體供料以使得所述工作腔內外皆能夠獲得原料供應。

8.根據權利要求1至4任一所述的連續鍍膜裝置,其中所述連續鍍膜設備進一步包括至少一個裝載裝置,其中所述裝載裝置包括一移動單元和一轉架,其中所述轉架被可帶動以移動地支撐于所述移動單元,其中所述該樣品適于被安裝于所述轉架并且跟隨所述轉架一同運動。

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