[發明專利]一種摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層及其制備方法有效
| 申請號: | 202010976775.8 | 申請日: | 2020-09-17 |
| 公開(公告)號: | CN112176302B | 公開(公告)日: | 2022-07-19 |
| 發明(設計)人: | 王國偉;黃鵬;樊鵬飛 | 申請(專利權)人: | 蘇州方林科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/35 | 分類號: | C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司: | 蘇州卓博知識產權代理事務所(普通合伙) 32491 | 代理人: | 夏志杰 |
| 地址: | 215151 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 摻雜 稀土元素 梯度 功能 改性 鍍層 及其 制備 方法 | ||
1.一種摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層,其特征在于,包含鎳鍍層、鎳金梯度鍍層和純金鍍層,所述鎳金梯度鍍層在鎳鍍層和純金鍍層中間,所述鎳金梯度鍍層摻雜有鑭、鈰、鉺、釔中的至少一種稀土元素,所述摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層的制備方法包括以下工藝步驟:
(1)銅基材預處理:
銅基材預處理包括除油、拋光、酸洗、水洗、烘干、離子束清洗和預熱步驟;
(2)摻雜靶材的制備:
在制備鎳靶材時摻入質量比0.02%~0.2%的稀土元素;
(3)鎳鍍層的制備:
激發摻雜鎳靶,沉積1~3μm摻雜稀土元素的鎳鍍層;
(4)鎳金梯度鍍層的制備:
同時激發摻雜鎳靶和純金靶,沉積鎳金質量比例從10:1過渡到1:10,鎳金梯度鍍層的厚度為1~3μm;
(5)純金鍍層的制備:
只激發純金靶,沉積厚度0.1~0.3μm的純金涂層。
2.根據權利要求1所述的摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層,其特征在于,所述鎳金梯度鍍層摻雜的稀土元素所占質量比為0.02%~0.2%。
3.根據權利要求1所述的摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層,其特征在于,所述鎳金梯度鍍層為鎳、金含量逐步變化的鎳金復合鍍層,所述鎳金梯度鍍層底部到頂部的鎳、金質量比從10:1過渡到1:10。
4.根據權利要求1所述的摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層,其特征在于,所述鎳鍍層的厚度為1~3μm,所述鎳金梯度鍍層的厚度為1~3μm,所述金鍍層的厚度為0.1 ~0.3μm。
5.根據權利要求1所述的摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層的制備方法,其特征在于,步驟(3)中制備鎳鍍層時,摻雜鎳靶濺射功率為15~21kw,濺射氣壓0.3Pa,負偏壓450V,沉積溫度200℃,沉積時間10~30min。
6.根據權利要求1所述的摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層的制備方法,其特征在于,步驟(4)中制備鎳金梯度鍍層時,摻雜鎳靶功率以0.6~1.8kw/min的速率逐步降至0,純金靶功率以0.15~0.45kw/min的速率逐步增至2.5~6kw/min,負偏壓300V,沉積時間10~30min。
7.根據權利要求1所述的摻雜稀土元素的梯度功能改性鎳金鍍層的制備方法,其特征在于,步驟(5)中制備純金鍍層時,濺射功率2.5~6.5kw,濺射氣壓0.3Pa,負偏壓200V,沉積溫度100℃,沉積時間2~5min。
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