[發明專利]硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置在審
| 申請號： | 202010969058.2 | 申請日： | 2020-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN111979577A | 公開（公告）日： | 2020-11-24 |
| 發明（設計）人： | 逯占文;曹玉寶;李方;李占賢 | 申請（專利權）人： | 連城凱克斯科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/30 | 分類號： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責任公司 21212 | 代理人： | 李洪福 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅單晶四爪 力矩 在線 抓取 裝置 | ||
1.一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，包括豎直穿入所述真空爐室內的單晶體承重外硬軸，其特征在于：所述單晶體承重外硬軸的底部安裝有用于夾持單晶體的小肩部單晶體卡爪，且所述單晶體承重外硬軸的頂部具有驅動所述單晶體卡爪夾緊所述單晶體或松開所述單晶體的卡爪驅動裝置；
所述單晶體卡爪包括四個卡爪，四個所述卡爪圍繞所述單晶體承重外硬軸的軸線均勻分布，且四個卡爪的中部與所述單晶體承重外硬軸的外壁鉸接，所述單晶體承重外硬軸的底部在所述卡爪的上部所在處加工有開口，所述卡爪的底部具有卡持部；
所述卡爪驅動裝置包括設置在所述單晶體承重外硬軸頂部的卷絲輪箱體，所述卷絲輪箱體內設有與所述卷絲輪箱體轉動連接的四個卷絲軸，所述卷絲軸的軸線垂直于所述單晶體承重外硬軸的軸線，所述卷絲軸上固定有卷絲輪；每個所述卷絲輪均連接有驅動所述卷絲軸轉動的卷絲軸驅動機構，且所述卷絲軸驅動機構設置在所述卷絲輪箱體外，所述卷絲輪與鎢絲繩的一端固定連接，所述鎢絲繩的另一端穿過豎直加工在所述單晶體承重外硬軸內的鎢絲繩過孔后與所述卡爪的上部固定連接；
所述鎢絲繩過孔的底部加工有彈簧容納腔，且所述彈簧容納腔內設有套在所述鎢絲繩外的預緊彈簧，所述預緊彈簧的頂部與所述彈簧容納腔的頂部相抵，所述預緊彈簧的底部與所述卡爪的頂部相抵。
2.根據權利要求1所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，其特征在于，所述卷絲輪箱體的頂部固定有稱重罩體，所述稱重罩體的內部頂端安裝有稱重傳感器，且所述稱重傳感器的底部連接有安裝在所述稱重罩體內的稱重定滑輪，且所述稱重定滑輪設置在四個所述卷絲輪中一個卷絲輪的正上方，且此卷絲輪連接的鎢絲繩經過所述稱重定滑輪后進入所述鎢絲繩過孔，之后與所述卡爪的上部固定連接。
3.根據權利要求2所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，其特征在于，所述卷絲輪箱體和所述稱重罩體內均設有用于鎢絲繩限位的鎢絲繩限位塊。
4.根據權利要求1所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，其特征在于，四個所述卡持部向所述單晶體承重外硬軸的軸心延伸，且所述卡持部的頂面具有錐面，且所述錐面與所述單晶體頂部的小肩部底部錐面相匹配。
5.根據權利要求1所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，其特征在于，所述卷絲輪箱體具有觀察窗口，所述觀察窗口處具有視窗玻璃。
6.一種硬軸重載硅單晶提拉裝置，其特征在于，包括：
支撐結構，豎直固定在真空爐室頂部；
如權利要求1～5任意權利要求所述的一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置，且所述一種硅單晶四爪等力矩在線抓取裝置設置在所述支撐結構內；
花鍵槽，加工在所述單晶體承重外硬軸內，且豎直延伸；
籽晶承重內硬軸，豎直設置在所述單晶體承重外硬軸內，所述籽晶承重內硬軸的外壁具有與所述花鍵槽配合的花鍵；
籽晶卡頭，與所述籽晶承重內硬軸底部固定連接，用于固定所述單晶體頂部的籽晶；
旋轉驅動裝置，安裝在所述支撐結構內，且位于所述單晶體承重外硬軸的上方，用于驅動所述單晶體承重外硬軸轉動；
外硬軸升降裝置，安裝在所述支撐結構頂部，用于驅動所述單晶體承重外硬軸升降；
內硬軸升降裝置，安裝在所述支撐結構內，用于驅動所述籽晶承重內硬軸升降。
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