[發(fā)明專(zhuān)利]一種WTi合金濺射靶材的制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010953981.7 | 申請(qǐng)日: | 2020-09-11 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN112111713B | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-09-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學(xué)澤;黃東長(zhǎng) | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C23C14/34 | 分類(lèi)號(hào): | C23C14/34;C23C14/14;B22F3/14;B22F1/14;B22F3/24;C22C27/04 |
| 代理公司: | 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659 | 代理人: | 王巖 |
| 地址: | 315400 浙江省寧波市*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 wti 合金 濺射 制備 方法 | ||
1.一種WTi合金濺射靶材的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括如下步驟:
(1)將W粉、高純Ti粉和低純Ti粉放入不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)中進(jìn)行混合,得到混合粉;
其中,所述高純Ti粉的純度≥99.98%,F(xiàn)e≤100ppm,Mn<10ppm,Cr<10ppm,Ni<10ppm;所述低純Ti粉的純度為99.5-99.9%,F(xiàn)e含量為200-300ppm,Mn<150ppm,Cr<100ppm,Ni<100ppm;所述W粉的純度≥99.999%;
所述高純Ti粉和所述低純Ti粉的質(zhì)量比為1:(2-3),所述高純Ti粉和所述低純Ti粉的質(zhì)量之和與所述W粉質(zhì)量的比值為10:90;
所述混合的時(shí)間為40-48h;
(2)將步驟(1)所述混合粉裝入模具并封口;
(3)將步驟(2)封口后的模具進(jìn)行熱壓燒結(jié)處理,得到WTi合金濺射靶材粗品;
(4)將步驟(3)得到的WTi合金濺射靶材粗品進(jìn)行機(jī)加工,得到WTi合金濺射靶材。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(1)所述不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)為V型混粉機(jī),且所述不銹鋼內(nèi)襯的材質(zhì)為304不銹鋼。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(1)所述不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)的轉(zhuǎn)速為6-15rpm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(1)所述混合采用加入Ti球進(jìn)行干混的方式;所述Ti球?qū)?yīng)的球料質(zhì)量比為(1-2):5。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在步驟(1)所述將W粉、高純Ti粉和低純Ti粉放入不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)之后,在所述混合之前,還包括:給所述不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)充入惰性氣體;所述惰性氣體為氬氣;所述混合過(guò)程中惰性氣體的表壓為0.02-0.06MPa。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(2)所述模具為石墨模具。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,將步驟(2)所述混合粉裝入模具過(guò)程中,使用石墨紙將所述混合粉與所述模具隔開(kāi);所述石墨紙的純度≥99.999%。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(3)所述熱壓燒結(jié)處理的溫度為1250-1350℃;所述熱壓燒結(jié)處理的壓力為25-30MPa。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(4)所述機(jī)加工包括線切割和/或磨加工。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括如下步驟:
(1)將純度≥99.98%的高純Ti粉、純度為99.5-99.9%的低純Ti粉和純度≥99.999%的W粉放入不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)中進(jìn)行混合,控制所述不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)的轉(zhuǎn)速為6-15rpm,經(jīng)40-48h混合均勻,得到混合粉;
其中,所述高純Ti粉的純度≥99.98%,F(xiàn)e≤100ppm,Mn<10ppm,Cr<10ppm,Ni<10ppm;所述低純Ti粉的純度為99.5-99.9%,F(xiàn)e含量為200-300ppm,Mn<150ppm,Cr<100ppm,Ni<100ppm;
所述高純Ti粉和所述低純Ti粉的質(zhì)量比為1:(2-3),所述高純Ti粉和所述低純Ti粉的質(zhì)量之和與所述W粉質(zhì)量的比值為10:90;
所述混合采用加入Ti球進(jìn)行干混的方式,并控制球料質(zhì)量比為(1-2):5;
在將所述W粉、高純Ti粉和低純Ti粉放入不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)之后,在所述混合之前,還包括:給所述不銹鋼內(nèi)襯混粉機(jī)充入氬氣作為惰性氣體,并控制混合過(guò)程中惰性氣體的表壓為0.02-0.06MPa;
(2)將步驟(1)所述混合粉裝入石墨模具并封口;
其中,在將所述混合粉裝入模具過(guò)程中,使用純度≥99.999%的石墨紙將所述混合粉與所述模具隔開(kāi);
(3)將步驟(2)封口后的模具進(jìn)行熱壓燒結(jié)處理,控制熱壓燒結(jié)處理的溫度為1250-1350℃,壓力為25-30MPa,得到WTi合金濺射靶材粗品;
(4)將步驟(3)得到的WTi合金濺射靶材粗品進(jìn)行線切割和/或磨加工,得到WTi合金濺射靶材。
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