[發明專利]特性測量裝置和特性測量方法在審
| 申請號： | 202010921223.7 | 申請日： | 2020-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN112484653A | 公開（公告）日： | 2021-03-12 |
| 發明（設計）人： | 徐瑨;吳世允;李鍾煥;千圣賢 | 申請（專利權）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/16 | 分類號： | G01B11/16;G01N3/06;G01N3/32 |
| 代理公司： | 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204 | 代理人： | 王達佐;劉錚 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 特性 測量 裝置 測量方法 | ||
1.特性測量裝置，包括：
固定部，固定有測試構件；
第一測量部，朝向所述測試構件提供光，并且獲取從所述測試構件反射的圖像；
第二測量部，朝向所述測試構件提供光，并且獲取從所述測試構件反射的圖像；以及
第三測量部，朝向所述測試構件提供光，并且獲取從所述測試構件反射的圖像，
其中，所述固定部使所述測試構件的形狀反復變形。
2.根據權利要求1所述的特性測量裝置，其中，所述第一測量部、所述第二測量部和所述第三測量部中的每個包括光源部和拍攝部，其中，所述拍攝部與所述光源部相鄰布置。
3.根據權利要求1所述的特性測量裝置，其中，所述固定部包括固定所述測試構件的第一端部的第一保持器和固定所述測試構件的第二端部的第二保持器，并且所述第一保持器和所述第二保持器中的至少任一個反復運動。
4.根據權利要求1所述的特性測量裝置，其中，所述固定部包括掛接部和振動部，其中，所述測試構件以折疊的狀態固定到所述掛接部，所述振動部對所述測試構件施加振動。
5.根據權利要求1所述的特性測量裝置，其中，所述第一測量部、所述第二測量部和所述第三測量部在與第一方向平行的方向上往復運動，并且所述固定部的位置是固定的。
6.根據權利要求1所述的特性測量裝置，其中，所述固定部在與第一方向平行的方向上往復運動，并且所述第一測量部、所述第二測量部和所述第三測量部中的每個的位置是固定的。
7.根據權利要求1所述的特性測量裝置，其中，所述第一測量部與所述第三測量部間隔開，所述固定部位于所述第一測量部與所述第三測量部之間，并且所述第二測量部布置在所述固定部上方。
8.根據權利要求1所述的特性測量裝置，其中，所述第一測量部對所述測試構件的第一區域進行掃描，所述第二測量部對所述測試構件的第二區域進行掃描，所述第三測量部對所述測試構件的第三區域進行掃描，并且所述第一區域、所述第二區域與所述第三區域是彼此不同的區域。
9.根據權利要求1所述的特性測量裝置，還包括：
計算部，基于從所述第一測量部、所述第二測量部和所述第三測量部獲取的圖像的相位變化計算應力分布；以及
顯示裝置，顯示所述應力分布。
10.特性測量方法，包括：
準備測試構件的步驟；
將所述測試構件固定到固定部的步驟；
利用所述固定部使所述測試構件的形狀變形的步驟；
用第一測量部對所述測試構件的第一區域進行掃描的步驟；
用第二測量部對所述測試構件的第二區域進行掃描的步驟；以及
用第三測量部對所述測試構件的第三區域進行掃描的步驟，
其中，在用所述第一測量部、所述第二測量部和所述第三測量部對所述測試構件進行掃描的期間，所述固定部持續使所述測試構件的形狀變形。
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