[發明專利]一種晶圓研磨頭裝置在審
| 申請號： | 202010853915.2 | 申請日： | 2020-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN111993268A | 公開（公告）日： | 2020-11-27 |
| 發明（設計）人： | 羅永勝 | 申請（專利權）人： | 臺州市老林裝飾有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/30 | 分類號： | B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 藍天知識產權代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 王衛兵 |
| 地址： | 318050 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 研磨 裝置 | ||
1.一種晶圓研磨頭裝置，包括連接梁(10)，其特征在于：所述連接梁(10)的一端頂面固定有升降氣缸(11)，升降氣缸(11)的推桿穿過連接梁(10)的底面并安裝有電機架(12)，電機架(12)的底板的頂面固定有旋轉伺服電機(13)，旋轉伺服電機(13)的輸出軸穿過電機架(12)的底板的底面并固定有連接板(14)，連接板(14)的底面固定拋光研磨頭(15)，拋光研磨頭(15)的底面中部成型有安裝凹槽(16)，晶圓(100)插套在安裝凹槽(16)中，晶圓(100)的底面伸出安裝凹槽(16)的底面；
所述安裝凹槽(16)的頂面和側壁均固定有拋光墊層(17)，晶圓(100)的頂面和側壁緊貼對應的拋光墊層(17)。
2.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨頭裝置，其特征在于：所述連接板(14)上成型有連接螺接通孔(141)，連接螺接通孔(141)與安裝凹槽(16)的頂面上成型有的連接通孔(161)相通。
3.根據權利要求2所述的一種晶圓研磨頭裝置，其特征在于：所述連接螺接通孔(141)周圍的連接板(14)的底面上成型有環形槽，密封圈(1)嵌套在環形槽中，密封圈(1)夾持在連接板(14)與拋光研磨頭(15)的頂面之間。
4.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨頭裝置，其特征在于：所述升降氣缸(11)的推桿的底面固定有緩沖裝置(20)，緩沖裝置(20)的底面固定有電機架(12)。
5.根據權利要求4所述的一種晶圓研磨頭裝置，其特征在于：所述緩沖裝置(20)包括上固定板(21)和下固定板(22)，上固定板(21)固定在升降氣缸(11)的推桿的底面上，下固定板(22)固定在電機架(12)的頂板的頂面上，緩沖彈性充氣墊(23)夾持在上固定板(21)和下固定板(22)之間。
6.根據權利要求5所述的一種晶圓研磨頭裝置，其特征在于：所述緩沖彈性充氣墊(23)的頂面固定在上固定板(21)上，緩沖彈性充氣墊(23)的底面固定在下固定板(22)上。
7.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨頭裝置，其特征在于：所述連接螺接通孔(141)上螺接有連接頭(2)。
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