[發(fā)明專利]一種準(zhǔn)單晶電池片生產(chǎn)工藝在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010767287.6 | 申請日: | 2020-08-03 |
| 公開(公告)號: | CN111883617A | 公開(公告)日: | 2020-11-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李雪方;賈宇龍;郭衛(wèi);崔龍輝 | 申請(專利權(quán))人: | 山西潞安太陽能科技有限責(zé)任公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 太原市科瑞達(dá)專利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
| 地址: | 046000 山*** | 國省代碼: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 準(zhǔn)單晶 電池 生產(chǎn)工藝 | ||
1.一種準(zhǔn)單晶電池片生產(chǎn)工藝,其特征在于:多晶硅電池片生產(chǎn)過程中采用單晶方式制絨、多晶方式擴(kuò)散、多晶方式酸拋、多晶熱氧鈍化、多晶方式PECVD鍍膜、多晶方式絲網(wǎng)印刷進(jìn)行,其中,所述的單晶方式是指采用單晶設(shè)備生產(chǎn),所述的多晶方式是指采用多晶設(shè)備生產(chǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準(zhǔn)單晶電池片生產(chǎn)工藝,其特征在于:單晶方式制絨是指在單晶槽式制絨設(shè)備上進(jìn)行金字塔絨面制備,生產(chǎn)工藝流程為粗拋→前清洗→水洗→制絨→水洗→后清洗→酸洗→水洗→熱烘干,其中,粗拋采用68-72℃的體積分?jǐn)?shù)為3.6%的KOH水溶液,前清洗和后清洗采用KOH和H2O2的混合水溶液,KOH的體積分?jǐn)?shù)為1.35%,H2O2的體積分?jǐn)?shù)為5.2%,制絨腐蝕液為KOH、制絨添加劑、水在78-82℃的水溶液,KOH體積分?jǐn)?shù)為1.9%,添加劑體積分?jǐn)?shù)為0.6%,酸洗液為HF、HCl、水的混合液,HF體積分?jǐn)?shù)為12.6%,HCl體積分?jǐn)?shù)為11.6%。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準(zhǔn)單晶電池片生產(chǎn)工藝,其特征在于:多晶方式擴(kuò)散是指在單晶擴(kuò)散設(shè)備上進(jìn)行擴(kuò)散,生產(chǎn)工藝流程為775-785℃低溫通源沉積、800℃-820℃高溫通源沉積、850-870℃高溫推進(jìn)氧化、810-820℃高溫通源沉積、720-730℃低溫推進(jìn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準(zhǔn)單晶電池片生產(chǎn)工藝,其特征在于:多晶方式酸拋是指在單晶鏈?zhǔn)剿釖佋O(shè)備上進(jìn)行背拋和磷硅玻璃的去除,其中,酸背拋腐蝕液為HF和HNO3的混合液,體積比為55:300,堿洗液為KOH和水混合液,體積比為5.6:56,去磷硅玻璃腐蝕液為HF和水的混合液,體積比為100:370。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準(zhǔn)單晶電池片生產(chǎn)工藝,其特征在于:多晶熱氧鈍化是指使用單晶擴(kuò)散爐進(jìn)行鈍化工藝,沉積溫度760℃,沉積一層致密的SiO2薄膜,760℃降至700℃保溫后出爐。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準(zhǔn)單晶電池片生產(chǎn)工藝,其特征在于:多晶方式PECVD鍍膜,首先進(jìn)行膜層間預(yù)處理,然后進(jìn)行膜層沉積。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種準(zhǔn)單晶電池片生產(chǎn)工藝,其特征在于:多晶方式絲網(wǎng)印刷是指采用多晶正銀網(wǎng)版匹配單晶正銀漿料。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





