[發明專利]柵極結構在審
| 申請號： | 202010711928.6 | 申請日： | 2020-07-22 |
| 公開（公告）號： | CN112310200A | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發明（設計）人： | 王俊杰;葉升韋;白岳青;楊淇任 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/423 | 分類號： | H01L29/423;H01L29/49;H01L27/088 |
| 代理公司： | 南京正聯知識產權代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 柵極 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種柵極結構，包括：
金屬層，安置在柵極介電層上方；以及
簇層，包夾在所述金屬層與所述柵極介電層之間，其中所述簇層至少包括非晶硅層、非晶碳層或非晶鍺層。
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