[發明專利]晶棒定角粘接機的定位機構在審
| 申請號: | 202010603334.3 | 申請日: | 2020-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN111645213A | 公開(公告)日: | 2020-09-11 |
| 發明(設計)人: | 周晉羽;李聰聰;周巍 | 申請(專利權)人: | 臺州市博信電子有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/00 | 分類號: | B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 臺州市方圓專利事務所(普通合伙) 33107 | 代理人: | 徐斌斌 |
| 地址: | 318000 浙江省臺州*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶棒定角粘 接機 定位 機構 | ||
1.晶棒定角粘接機的定位機構,包括用于水平定位料板(10)的夾具(41)和豎直設置在夾具(41)上方并能夠相對夾具(41)轉動的矯正基準立板(5),其特征在于,所述矯正基準立板(5)上連接有能夠沿垂直于矯正基準立板(5)板面方向滑動的定位架(6),所述定位架(6)上連接有能夠吸附住晶棒的柔性吸盤(7),且當柔性吸盤(7)吸附住晶棒時定位架(6)能夠縮回并使晶棒壓靠在矯正基準立板(5)上,所述矯正基準立板(5)上還設有壓塊(92),當柔性吸盤(7)吸附在晶棒上且晶棒壓靠在矯正基準立板(5)上時壓塊(92)能夠下降并將晶棒壓緊在料板(10)上。
2.根據權利要求1所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述定位架(6)包括長條狀的移動板(61),所述移動板(61)滑動設置在矯正基準立板(5)的后側,在移動板(61)的前側設有若干上述的柔性吸盤(7),且柔性吸盤(7)均凸出矯正基準立板(5)的前板面。
3.根據權利要求2所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述矯正基準立板(5)的后側固定有水平氣缸(66),所述水平氣缸(66)朝后設置,且水平氣缸(66)的活塞桿通過連接板(65)與移動板(61)相固連,所述矯正基準立板(5)的后側還固定有能夠對移動板(61)的最大移動行程進行調節的限位座(8)。
4.根據權利要求3所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述連接板(65)上固定有后限位塊(651),所述限位座(8)上螺接有后限位柱(811),該后限位柱(811)朝前設置并與后限位塊(651)的后側面相對,當所述定位架(6)向后縮回時后限位塊(651)能夠與后限位柱(811)相抵靠。
5.根據權利要求4所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述水平氣缸(66)或者矯正基準立板(5)上固定有前限位塊(661),所述后限位塊(651)或者連接板(65)上螺接有前限位柱(652),該前限位柱(652)朝前設置并與前限位塊(661)后側面相對,當所述定位架(6)向前伸出設定距離時前限位柱(652)能夠與前限位塊(661)相抵靠。
6.根據權利要求2~5中任意一項所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述定位架(6)還包括長條狀的緩沖板(62),所述緩沖板(62)位于移動板(61)的前側并滑動連接在移動板(61)上,且緩沖板(62)的滑動方向與移動板(61)的滑動方向一致,上述柔性吸盤(7)設置在緩沖板(62)兩端前側面上,所述緩沖板(62)與移動板(61)之間還設有當緩沖板(62)相對移動板(61)向后移動時進行緩沖的緩沖彈簧(622)。
7.根據權利要求6所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述移動板(61)的兩端均固定有導向套(612),所述緩沖板(62)后側面的兩端均垂直固定有導向柱(621),兩所述導向柱(621)分別滑動穿設在兩導向套(612)內,所述導向柱(621)的端部還固定有限位片(623),所述緩沖彈簧(622)套設在導向柱(621)上并作用在緩沖板(62)后側面上,在緩沖彈簧(622)的作用下限位片(623)抵靠在導向套(612)后端面上。
8.根據權利要求1~5中任意一項所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述矯正基準立板(5)的前板面上具有若干向前凸出的基準凸部(51),若干所述基準凸部(51)的前端面為基準面,該若干基準面共面并豎直設置,當柔性吸盤(7)吸附住晶棒且定位架(6)縮回時能夠使晶棒壓靠在若干基準面上。
9.根據權利要求1~5中任意一項所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述矯正基準立板(5)上還固定有朝下設置的豎向氣缸(9),所述豎向氣缸(9)與壓塊(92)相連接,所述壓塊(92)下側面的兩端均固定有朝下設置的壓盤(93)。
10.根據權利要求1~5中任意一項所述的晶棒定角粘接機的定位機構,其特征在于,所述柔性吸盤(7)呈喇叭狀并采用橡膠材料制成,所述柔性吸盤(7)的中心位置開設有與真空發生裝置相連通的吸氣孔(71)。
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