[發明專利]一種帶旋轉式料架的氧化爐在審
| 申請號： | 202010548129.1 | 申請日： | 2020-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN111696898A | 公開（公告）日： | 2020-09-22 |
| 發明（設計）人： | 徐俊 | 申請（專利權）人： | 杭州易正科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 曹立成 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市西*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 旋轉 式料架 氧化 | ||
1.一種帶旋轉式料架的氧化爐，包括石英管(1)和石英門(2)，石英管(1)的內壁上固定有加熱絲，石英門(2)的內側壁上成型有凸臺(21)，凸臺(21)插接在石英管(1)內，其特征在于：凸臺(21)的內側端面上成型有圓形的沉臺(22)，沉臺(22)的內壁上成型有環形的卡槽(23)，所述的石英管(1)內插設有旋轉料架(3)；所述石英門(2)的外壁上成型有若干支耳(23)，支耳(23)上插接固定有導向桿(8)，石英管(1)的外壁上成型有若干導向管(11)，導向桿(8)插接在石英管(1)的導向管(11)內；
所述的旋轉料架(3)包括圓形的右端板(31)和左端板(32)，左端板(32)插接在石英門(2)的沉臺(22)并成型有環形的擋邊，左端板(32)的擋邊上成型有環形的卡環(321)，卡環(321)插接在卡槽(23)內；右端板(31)和左端板(32)之間插設有兩根定托桿(34)和一個動托桿(33)，定托桿(34)和動托桿(33)的右端分別成型有第二螺柱(342)和第一螺柱(332)，右端板(31)和左端板(32)分別成型有相對并呈圓弧形的右導向槽(311)和左導向槽(322)，動托桿(33)的第一螺柱(332)和定托桿(34)的第二螺柱(342)分別穿過右端板(31)的右導向槽(311)和右端板(31)螺接有螺母(35)；定托桿(34)和動托桿(33)的右端均螺接有螺栓(37)，螺栓(37)插接在左端板(32)上和左端板(32)的左導向槽(322)內；所述動托桿(33)和定托桿(34)上分別成型有若干道相對的第一環槽(331)和第二環槽(342)；所述右端板(31)的中部固定有石英軸(36)，石英軸(36)穿過石英管(1)插套固定有從動齒輪(4)，從動齒輪(4)和主動齒輪(5)相嚙合，主動齒輪(5)插套固定在電機(6)的轉軸上，電機(6)固定在電機支架(7)上，電機支架(7)固定在石英門(2)上。
2.根據權利要求1所述的一種帶旋轉式料架的氧化爐，其特征在于：所述定托桿(34)上第一環槽(331)的數量和動托桿(33)上第二環槽(342)的數量相等，第一環槽(331)或第二環槽(342)分別呈線性均勻分布在定托桿(34)或動托桿(33)上。
3.根據權利要求2所述的一種帶旋轉式料架的氧化爐，其特征在于：所述動托桿(33)和定托桿(34)繞右端板(31)的中心軸線呈環形均勻分布，右端板(31)上右導向槽(311)的圓弧圓心或左端板(32)上左導向槽(322)的圓弧圓心均位于右端板(31)的中心軸線。
4.根據權利要求3所述的一種帶旋轉式料架的氧化爐，其特征在于：所述右端板(31)的中心成型有中心孔，石英管(1)的內端面成型有支撐軸(13)，支撐軸(13)上插套有滑動軸承(40)，滑動軸承(40)插接在右端板(31)的中心孔內。
5.根據權利要求1所述的一種帶旋轉式料架的氧化爐，其特征在于：所述石英管(1)上導向管(11)的內壁上成型有貫穿導向管(11)外側壁的插槽(12)，插槽(12)內插接有限位桿(10)，限位桿(10)固定在導向桿(8)的后端，所述的導向管(11)上插套有“冂”字形的連接座(20)，連接座(20)的兩端固定在限位桿(10)上，連接座(20)螺接有螺釘(30)，螺釘(30)的末端抵靠在導向管(11)上。
6.根據權利要求5所述的一種帶旋轉式料架的氧化爐，其特征在于：所述的導向桿(8)設有三根，導向桿(8)繞石英管(1)的中心軸線呈環形均勻分布。
7.根據權利要求1所述的一種帶旋轉式料架的氧化爐，其特征在于：所述石英門(2)的外端面上固定連接有拉手(9)。
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H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
