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[發(fā)明專(zhuān)利]一種提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 202010358215.6 申請(qǐng)日: 2020-04-29
公開(kāi)(公告)號(hào): CN111584327B 公開(kāi)(公告)日: 2022-09-27
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 張益軍;李詩(shī)曼;張鍇珉;舒昭鑫;榮敏敏;錢(qián)蕓生;石峰;程宏昌 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 南京理工大學(xué)
主分類(lèi)號(hào): H01J9/12 分類(lèi)號(hào): H01J9/12
代理公司: 南京理工大學(xué)專(zhuān)利中心 32203 代理人: 岑丹
地址: 210094 江*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 提高 砷化鎵 光電 陰極 量子 效率 激活 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,包括銫源激活、氧源激活和氟源激活,激活過(guò)程中用鹵鎢燈白光垂直照射整個(gè)陰極面,具體步驟如下:

步驟1、對(duì)待激活樣品進(jìn)行化學(xué)清洗和高溫凈化;

步驟2、開(kāi)啟銫源,銫源垂直照射待激活樣品,光電流逐漸上升,光電流達(dá)到峰值后下降;

步驟3、當(dāng)光電流下降到第一閾值范圍時(shí),開(kāi)啟氧源,并保持銫源開(kāi)啟狀態(tài),光電流轉(zhuǎn)為上升;

步驟4、當(dāng)光電流再次到達(dá)峰值時(shí)關(guān)閉氧源,光電流先小幅上升然后立刻下降;

步驟5、當(dāng)光電流下降到第一閾值范圍時(shí)打開(kāi)氧源,光電流持續(xù)下降而后轉(zhuǎn)為上升;

步驟6、重復(fù)步驟4和步驟5,直到光電流的峰值電流為第二閾值范圍,待光電流下降到第三閾值范圍時(shí)打開(kāi)氟源,光電流再次轉(zhuǎn)為上升;

步驟7、當(dāng)光電流上升到新的峰值時(shí),先后關(guān)閉氟源和銫源,結(jié)束激活過(guò)程。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,步驟1化學(xué)清洗方法為:依次采用丙酮、甲醇、去離子水超聲清洗樣品,完成去油脂步驟;

將樣品依次放入HF溶液和HCl:IPA混合溶液中化學(xué)刻蝕;

用去離子水將樣品充分沖洗干凈。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,步驟1中高溫凈化步驟為:將化學(xué)清洗后的樣品放入超高真空系統(tǒng)中進(jìn)行15~60分鐘的加熱,加熱溫度為550~650℃,超高真空系統(tǒng)的真空度不低于10-7Pa數(shù)量級(jí)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,步驟2、步驟3、步驟4、步驟5、步驟6和步驟7均在超高真空系統(tǒng)中進(jìn)行。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,步驟2、步驟3、步驟4、步驟5和步驟6中銫源和氧源均為采用鎳管封裝的固態(tài)源。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,步驟7中氟源為氣態(tài)源,進(jìn)氣方法為:電動(dòng)調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)微量進(jìn)氣閥開(kāi)關(guān)格數(shù),控制進(jìn)入超真空系統(tǒng)NF3進(jìn)氣量。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,第一閾值范圍為峰值電流的50%~90%。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,第二閾值范圍為前一個(gè)峰值電流的100~110%。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高砷化鎵光電陰極量子效率的激活方法,其特征在于,第三閾值范圍為峰值電流的50%~90%。

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