[發(fā)明專(zhuān)利]聚焦離子束雜質(zhì)鑒定有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010100620.8 | 申請(qǐng)日： | 2020-02-18 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111579890B | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-11-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | J.格雷厄姆;L.克拉爾 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | FEI公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01R29/24 | 分類(lèi)號(hào)： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 張凌苗;陳嵐 |
| 地址： | 美國(guó)俄*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 聚焦 離子束 雜質(zhì) 鑒定 | ||
1.一種用于離子束的系統(tǒng)，其包括：
磁力分散器，所述磁力分散器配置成在分析模式下運(yùn)行；
離子束柱，所述離子束柱配置成將離子束引導(dǎo)到襯底，
其中在所述分析模式下，所述磁力分散器通電以將所述離子束偏轉(zhuǎn)為一個(gè)或多個(gè)分量束；以及
其中所述磁力分散器是聯(lián)接到透鏡驅(qū)動(dòng)器的帶電粒子束磁力透鏡，其中所述帶電粒子束磁力透鏡進(jìn)一步配置成在成像模式下運(yùn)行，其中在所述成像模式下，所述帶電粒子束磁力透鏡與所述襯底的成像相關(guān)聯(lián)，并且其中帶電粒子束是電子束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中在所述分析模式下，所述透鏡驅(qū)動(dòng)器配置成施加分析激發(fā)，并且在所述成像模式下，所述透鏡驅(qū)動(dòng)器配置成施加大于所述分析激發(fā)的成像激發(fā)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述成像激發(fā)的幅值至少10倍于所述分析激發(fā)的幅值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：離子束收集器，在所述分析模式下，所述透鏡驅(qū)動(dòng)器配置成施加分析激發(fā)，所述離子束收集器定位成響應(yīng)于分析激發(fā)而選擇性地接收所述離子束的各個(gè)分量束，并且其進(jìn)一步包括：致動(dòng)器，所述致動(dòng)器聯(lián)接到所述離子束收集器并且配置成響應(yīng)于所述分析激發(fā)而移動(dòng)所述離子束收集器以接收所述離子束的各個(gè)分量束。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述離子束收集器是法拉第杯。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述透鏡驅(qū)動(dòng)器可運(yùn)行以提供多個(gè)分析激發(fā)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中所述透鏡驅(qū)動(dòng)器可運(yùn)行以將所述離子束的一個(gè)或多個(gè)分量選擇性地引導(dǎo)到離子束檢測(cè)器，并且其中所述離子束檢測(cè)器包含孔板，所述孔板限定對(duì)受選擇性引導(dǎo)的一個(gè)或多個(gè)離子束分量而言可透射的孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：控制器，所述控制器聯(lián)接到所述透鏡驅(qū)動(dòng)器以選擇分析激發(fā)或成像激發(fā)以供施加到所述帶電粒子束磁力透鏡，所述控制器配置成估計(jì)與所述一個(gè)或多個(gè)分量束中的至少一個(gè)分量束相關(guān)聯(lián)的束電流。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：離子束檢測(cè)器和致動(dòng)器，其中所述控制器聯(lián)接到所述離子束檢測(cè)器和所述致動(dòng)器并且基于所述離子束檢測(cè)器中的至少一個(gè)電流確定所述離子束的分量的組成。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述控制器配置成選擇性地在所述成像模式和所述分析模式下運(yùn)行所述帶電粒子束磁力透鏡，并且在所述分析模式下掃描可移動(dòng)孔。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：氣體歧管，所述氣體歧管聯(lián)接到離子源并且配置成將一種或多種氣體選擇性地提供到所述離子源以產(chǎn)生一個(gè)或多個(gè)對(duì)應(yīng)的分量束。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：顯示器，所述顯示器聯(lián)接到控制單元并且配置成指示未選擇的離子在所述離子束中的存在。
13.一種用于離子束的系統(tǒng)，其包括：
磁力分散器，所述磁力分散器配置成在分析模式和零模式下運(yùn)行；
離子束柱，所述離子束柱配置成將離子束引導(dǎo)到襯底，
其中在所述分析模式下，所述磁力分散器通電以將所述離子束偏轉(zhuǎn)為一個(gè)或多個(gè)分量束；
其中所述磁力分散器是磁力短柱，以及
其中在所述零模式下，所述磁力短柱配置成減輕殘余放大以創(chuàng)建零場(chǎng)條件。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述磁力短柱配置成消除殘余放大。
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