[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體裝置的制造方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201980043643.5 | 申請(qǐng)日: | 2019-06-25 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112352318A | 公開(公告)日: | 2021-02-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 山崎舜平;馬場晴之;奧野直樹;小松良寬;大野敏和 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所 |
| 主分類號(hào): | H01L29/786 | 分類號(hào): | H01L29/786;H01L21/8239;H01L21/8242;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/1156 |
| 代理公司: | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人: | 宋俊寅 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體 裝置 以及 制造 方法 | ||
1.一種半導(dǎo)體裝置,包括:
第一絕緣體;
所述第一絕緣體上的第一氧化物;
所述第一氧化物上的第二氧化物;
所述第二氧化物上的第三氧化物及第四氧化物;
所述第三氧化物上的第一導(dǎo)電體;
所述第四氧化物上的第二導(dǎo)電體;
所述第二氧化物上的第五氧化物;
所述第五氧化物上的第二絕緣體;以及
所述第二絕緣體上的第三導(dǎo)電體,
其中,所述第五氧化物與所述第二氧化物的頂面、所述第一導(dǎo)電體的側(cè)面、所述第二導(dǎo)電體的側(cè)面、所述第三氧化物的側(cè)面及所述第四氧化物的側(cè)面接觸,
所述第二氧化物包含In、元素M(M是Al、Ga、Y或Sn)以及Zn,
所述第一氧化物及所述第五氧化物各自包含所述第二氧化物所包含的構(gòu)成要素中的至少一個(gè),
所述第三氧化物及所述第四氧化物各自包含元素M,
并且,所述第三氧化物及所述第四氧化物具有其所述元素M的濃度比所述第二氧化物高的區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,
其中所述第三氧化物及所述第四氧化物各自具有厚度為0.5nm以上且5nm以下的區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,
其中所述第三氧化物及所述第四氧化物各自具有厚度為1nm以上且3nm以下的區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,
其中所述第三氧化物及所述第四氧化物各自包含鎵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,
其中所述第三氧化物及所述第四氧化物各自具有結(jié)晶性。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,
其中所述第二氧化物具有結(jié)晶性。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,
其中所述第一氧化物、所述第三氧化物、所述第四氧化物及所述第五氧化物的組成大致相同。
8.一種半導(dǎo)體裝置,包括:
第一絕緣體;
所述第一絕緣體上的第一氧化物;
所述第一氧化物上的第二氧化物;
所述第二氧化物上的第三氧化物及第四氧化物;
所述第三氧化物上的第一導(dǎo)電體;
所述第四氧化物上的第二導(dǎo)電體;
所述第二氧化物上的第五氧化物;
所述第五氧化物上的第二絕緣體;
所述第二絕緣體上的第三導(dǎo)電體;
所述第一導(dǎo)電體及所述第二導(dǎo)電體上的第三絕緣體;以及
所述第三絕緣體上的第四絕緣體,
其中,所述第五氧化物與所述第二氧化物的頂面、所述第一導(dǎo)電體的第一側(cè)面、所述第二導(dǎo)電體的第一側(cè)面、所述第三氧化物的第一側(cè)面、所述第四氧化物的第一側(cè)面以及所述第三絕緣體的側(cè)面接觸,
所述第五氧化物與設(shè)置在所述第四絕緣體中的開口部的側(cè)面接觸,
所述第三導(dǎo)電體以填充所述開口部的方式設(shè)置,
所述第二氧化物包含In、元素M(M是Al、Ga、Y或Sn)以及Zn,
所述第一氧化物及所述第五氧化物各自包含所述第二氧化物所包含的構(gòu)成要素中的至少一個(gè),
所述第三氧化物及所述第四氧化物各自包含元素M,
并且,所述第三氧化物及所述第四氧化物具有其所述元素M的濃度比所述第二氧化物高的區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體裝置,
其中所述第三絕緣體與所述第一導(dǎo)電體的第二側(cè)面、所述第二導(dǎo)電體的第二側(cè)面、所述第三氧化物的第二側(cè)面、所述第四氧化物的第二側(cè)面以及所述第二氧化物的側(cè)面接觸。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的半導(dǎo)體裝置,
其中所述第五氧化物具有疊層結(jié)構(gòu),
并且所述第五氧化物包含第六氧化物以及所述第六氧化物上的第七氧化物。
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H01L29-00 專門適用于整流、放大、振蕩或切換,并具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體器件;具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘,例如PN結(jié)耗盡層或載流子集結(jié)層的電容器或電阻器;半導(dǎo)體本體或其電極的零部件
H01L29-02 .按其半導(dǎo)體本體的特征區(qū)分的
H01L29-40 .按其電極特征區(qū)分的
H01L29-66 .按半導(dǎo)體器件的類型區(qū)分的
H01L29-68 ..只能通過對(duì)一個(gè)不通有待整流、放大或切換的電流的電極供給電流或施加電位方可進(jìn)行控制的
H01L29-82 ..通過施加于器件的磁場變化可控的
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