本實用新型涉及控制領域，具體涉及一種高精度微動平臺；包括頂部的安裝平臺與底部的底座，安裝平臺與底座之間設有RY軸旋轉平臺、RZ軸旋轉平臺、Z軸升降平臺、Y軸平移平臺及X軸平移平臺，RY軸旋轉平臺與Z軸升降平臺相連，Z軸升降平臺通過RZ軸旋轉平臺與Y軸平移平臺相連，Y軸平移平臺與X軸平移平臺相連，所述RY軸旋轉平臺可實現繞Y軸旋轉角度，本實用新型微動平臺屬于一種純機械結構的微動平臺，環境適應性強，可靠性高，精度高，本實用新型微動平臺屬于一種純機械結構的微動平臺，環境適應性強，可靠性高，精度高，可以精確的調節X軸、Y軸、Z軸三個方向的位移和繞Z軸方向、繞Y軸方向旋轉角度變化。

技術領域

本實用新型涉及控制領域，具體涉及一種高精度微動平臺。

背景技術

隨著科學技術的不斷發展，遠程檢測和定位技術已經廣泛的應用于各個領域，這就對所應用的設備精度要求進一步提高。目前，市場上高精度微動平臺絕大部分以電控為主，電控設備的缺點和優勢都比較鮮明，對所使用的環境要求比較高，這就約束了電控設備的適用范圍。

實用新型內容

針對現有技術中提到的問題，本實用新型的目的在于一種純機械的、不受使用環境因素影響，具有控制精度高，可靠性高，并且控制穩定的高精度微動平臺。

本實用新型一種高精度微動平臺，包括頂部的安裝平臺與底部的底座，安裝平臺與底座之間設有RY軸旋轉平臺、RZ軸旋轉平臺、Z軸升降平臺、Y軸平移平臺及X軸平移平臺，RY軸旋轉平臺與Z軸升降平臺相連，Z軸升降平臺通過RZ軸旋轉平臺與Y軸平移平臺相連，Y軸平移平臺與X軸平移平臺相連，所述RY軸旋轉平臺可實現繞Y軸旋轉角度，RZ軸旋轉平臺可實現繞Z軸旋轉角度，X軸平移平臺、Y軸平移平臺、Z軸升降平臺可分別實現分別沿X軸、Y軸、Z軸移動，通過多個平臺相配合從而實現安裝平臺的位移變化與角度變化。

優選地，所述RY軸旋轉平臺還包括RY軸楔形塊、固定塊、第一微調絲杠、第一鎖定螺釘、及第一復位彈簧，所述RY軸旋轉平臺上開設有旋轉調節縫，旋轉調節縫底部設有第一燕尾槽，第一燕尾槽底部設有第一導軌，其中，第一燕尾槽兩端均設有固定塊，其第一燕尾槽還與形狀匹配的RY軸楔形塊相連，第一微調絲杠與RY軸楔形塊相連時通過第一復位彈簧相連，第一鎖定螺釘與RY軸旋轉平臺一端相連。

優選地，所述Z軸升降平臺還包括Z軸楔形塊、第二鎖定螺釘、第二微調絲杠及第二復位彈簧，所述Z軸升降平臺上開設有第二燕尾槽，第二燕尾槽兩端還設有第一沉槽，其中，第二燕尾槽與第一導軌匹配相連，Z軸楔形塊穿過第一沉槽與第一導軌相配合，第二微調絲杠與Z軸楔形塊相連，所述第二復位彈簧設置在第二燕尾槽與第一導軌之間，第二鎖定螺釘與Z軸升降平臺一端相連。

優選地，所述RZ軸旋轉平臺安裝在Y軸平移平臺之中，還包括RZ軸楔形塊、第三鎖定螺釘、第三微調絲桿及第三復位彈簧，所述RZ軸旋轉平臺一端上設有圓柱銷，其圓柱銷與RZ軸楔形塊配合工作，另一端還與第三復位彈簧相連，其中，第三微調絲桿穿過Y軸平移平臺與RZ軸楔形塊相連，第三鎖定螺釘與RZ軸旋轉平臺一端相連。

優選地，所述Y軸平移平臺底部設有第二導軌，X軸平移平臺的中部開設有第三燕尾槽，第三燕尾槽兩端還設有第二沉槽，第二導軌與第二沉槽相適應，還包括Y軸楔形塊、第四鎖定螺釘、第四微調絲桿及第四復位彈簧，所述第二導軌之間還開設有第一調節縫，Y軸楔形塊設置在第三燕尾槽中，第四微調絲桿穿過第一調節縫和Y軸楔形塊相連設置，其中，第四復位彈簧安裝在第二導軌的一側，第四鎖定螺釘設置在Y軸平移平臺與X軸平移平臺之間。

優選地，所述X軸平移平臺底部設有第三導軌，底座的中部開設有第四燕尾槽，第三燕尾槽兩端還設有第三沉槽，第三導軌與第三沉槽相適應，還包括X軸楔形塊、第五鎖定螺釘、第五微調絲桿及第五復位彈簧，所述第三導軌上還開設有第二調節縫，第五微調絲桿穿過第二調節縫和X軸楔形塊相連設置，其中，第五復位彈簧安裝在第三導軌的一側，第五鎖定螺釘設置在底座與X軸平移平臺之間。