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[實用新型]真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu)及真空鍍膜設(shè)備有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201922306224.6 申請日: 2019-12-19
公開(公告)號: CN211199381U 公開(公告)日: 2020-08-07
發(fā)明(設(shè)計)人: 高文波;李小彭 申請(專利權(quán))人: 廣東生波爾光電技術(shù)有限公司
主分類號: C23C14/22 分類號: C23C14/22
代理公司: 中山市捷凱專利商標代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 44327 代理人: 石仁
地址: 528400 廣東省中山市板芙*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 真空鍍膜 設(shè)備 抽拉式 離子源 機構(gòu)
【權(quán)利要求書】:

1.真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,包括設(shè)于真空鍍膜設(shè)備上的離子源安裝架(9)、安裝在所述離子源安裝架(9)內(nèi)的離子源(91),所述離子源(91)從所述離子源安裝架(9)的一端插入安裝至離子源安裝架(9)內(nèi)且可從離子源安裝架(9)中抽出拆卸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,所述離子源安裝架(9)上設(shè)有滑軌(901),所述離子源(91)上設(shè)有與所述滑軌配合的滑輪組件(92)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,所述離子源(91)的兩側(cè)上設(shè)有多個間隔排布的所述滑輪組件(92)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,所述滑輪組件(92)包括固定安裝在離子源(91)側(cè)面上的安裝板(921)、設(shè)于安裝板(921)上的滾輪軸(922)、設(shè)于滾輪軸(922)上的滾輪(923),且所述滾輪(923)通過軸承(924)套接在滾輪軸(922)上,所述滾輪軸(922)上還設(shè)有彈性擋圈(925)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,所述離子源(91)的前端連接有前端板(93),所述前端板(93)上設(shè)有可與真空鍍膜設(shè)備或離子源安裝架(9)卡鎖的鎖定結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,所述前端板(93)上還設(shè)有把手(931)以及與離子源連接的連接口(932)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,還包括設(shè)于離子源安裝架(9)側(cè)邊的傳動輥(8)以及冷卻輥機構(gòu),所述冷卻輥機構(gòu)包括冷卻輥(1)、驅(qū)動冷卻輥(1)轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機構(gòu)(2)以及冷卻結(jié)構(gòu),所述冷卻結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述冷卻輥(1)內(nèi)的內(nèi)膽(3)、鏈接在冷卻輥(1)一側(cè)且與冷卻輥(1)內(nèi)部聯(lián)通的冷卻液管道(31),所述冷卻液管道(31)上設(shè)有進水口(32)和出水口(33),且所述內(nèi)膽(3)從冷卻輥(1)內(nèi)沿冷卻液管道(31)延伸至與出水口(33)相對,且所述內(nèi)膽(3)內(nèi)部為出水通道(301)、所述內(nèi)膽(3)外周與冷卻輥(1)內(nèi)壁之間的間隙形成與冷卻液管道(31)聯(lián)通的冷卻通道(311),且所述內(nèi)膽(3)上設(shè)有聯(lián)通所述冷卻通道(311)與出水通道(301)的通道口(302)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,所述內(nèi)膽(3)還包括與其內(nèi)部出水通道(301)聯(lián)通的出水管(3011)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu),其特征在于,所述冷卻液管道(31)還包括設(shè)于其端部的旋轉(zhuǎn)接頭(34)。

10.一種真空鍍膜設(shè)備,其特征在于,包括如權(quán)利要求1至9中任意一項所述的真空鍍膜設(shè)備上的抽拉式離子源機構(gòu)。

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