[實用新型]一種納米線氣體傳感器及電子鼻系統有效
| 申請號： | 201921663061.0 | 申請日： | 2019-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN211553852U | 公開（公告）日： | 2020-09-22 |
| 發明（設計）人： | 黃輝;趙丹娜;尚瑞晨;段海波;吳海寧 | 申請（專利權）人： | 深圳市微納集成電路與系統應用研究院 |
| 主分類號： | G01N27/407 | 分類號： | G01N27/407;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414 | 代理人： | 汪海琴 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 納米 氣體 傳感器 電子 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種納米線氣體傳感器，其特征在于，所述納米線氣體傳感器包括襯底和多根納米線，多根所述納米線設置在所述襯底的上表面，每個所述納米線的兩端均設置有電極，多根所述納米線的表面分別覆蓋多種表面修飾層。
2.根據權利要求1所述的納米線氣體傳感器，其特征在于，多種所述納米線平行排列在所述襯底的上表面。
3.根據權利要求1所述的納米線氣體傳感器，其特征在于，多種所述納米線包括元素半導體納米線、金屬氧化物半導體納米線和化合物半導體納米線中的至少一種。
4.根據權利要求1所述的納米線氣體傳感器，其特征在于，化合物半導體納米線為氮化物半導體納米線。
5.根據權利要求1所述的納米線氣體傳感器，其特征在于，多種所述表面修飾層包括金屬催化劑鍍層、金屬氧化物催化劑鍍層、氧化層和金屬氧化物層中的至少一種。
6.根據權利要求1所述的納米線氣體傳感器，其特征在于，所述表面修飾層和所述納米線形成芯包層結構。
7.根據權利要求1所述的納米線氣體傳感器，其特征在于，所述襯底為藍寶石襯底或石英襯底。
8.一種電子鼻系統，其特征在于，所述電子鼻系統包括如權利要求1至5任意一項所述的納米線氣體傳感器。
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