[實用新型]一種極化設備有效
| 申請號: | 201920521676.3 | 申請日: | 2019-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN209729964U | 公開(公告)日: | 2019-12-03 |
| 發明(設計)人: | 陸紅衛;王大亮;丁坤寶;埃夫仁;張曉燕;王開安 | 申請(專利權)人: | 奧昱新材料技術(嘉興)有限公司 |
| 主分類號: | H01L41/257 | 分類號: | H01L41/257;H01L21/677 |
| 代理公司: | 11332 北京品源專利代理有限公司 | 代理人: | 王小衡;胡彬<國際申請>=<國際公布>= |
| 地址: | 314006 浙江省嘉興市*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 極化 高分子薄膜 極化設備 承載臺 基底 自動化連續生產 極化技術 承載 | ||
1.一種極化設備,用于極化待極化件,其特征在于:所述待極化件包括基底和形成在所述基底上的高分子薄膜,所述極化設備包括準備臺、極化室、轉移臺和承載臺,其中,
所述準備臺用于放置準備進入所述極化室的所述承載臺;
所述承載臺用于放置待極化件;
極化室用于對承載臺上待極化件的所述高分子薄膜進行極化;
轉移臺用于放置完成極化的極化件。
2.根據權利要求1所述的極化設備,其特征在于:
所述承載臺被移動到所述準備臺時,所述待極化件被放置在所述承載臺上;
所述承載臺和所述待極化件被移動到所述極化室內時,所述極化室對所述高分子薄膜進行極化;
極化完成后,所述承載臺和所述待極化件被移動到所述轉移臺后,所述承載臺上的所述極化件被轉移走。
3.根據權利要求1所述的極化設備,其特征在于:所述基底包括基板、接地電極和接地引腳,所述接地引腳位于基板邊緣,所述接地引腳和接地電極設置于所述基板的表面,所述高分子薄膜覆蓋所述接地電極并暴露所述接地引腳,所述接地電極和所述接地引腳電性連接。
4.根據權利要求3所述的極化設備,其特征在于:所述承載臺呈平板狀,所述承載臺上開設有承載槽,所述承載槽的底部還開設至少兩個貫穿所述承載臺厚度方向的頂升孔,所述承載臺上和承載槽相對的表面上還開設接地孔,所述承載臺上還設置有承載電極,至少部分所述承載電極設置在所述接地孔的底部以及承載槽的側面。
5.根據權利要求4述的極化設備,其特征在于:所述準備臺包括第一傳送裝置和第一頂升裝置,所述第一頂升裝置位于所述第一傳送裝置的下方,所述承載臺在第一傳送裝置作用下移動到預設的第一位置后,所述第一頂升裝置升高穿過所述第一傳送裝置和所述頂升孔,外部的第一輸送裝置把所述待極化件放置在所述第一頂升裝置上,所述第一頂升裝置降低使得所述待極化件被放置在所述承載槽內。
6.根據權利要求4所述的極化設備,其特征在于:所述極化室包括極化組件、第二傳送裝置、第二頂升裝置和頂蓋,所述頂蓋包括導電片,所述第二頂升裝置包括接地導線,所述第二頂升裝置位于所述第二傳送裝置的下方,所述極化組件位于第二傳送裝置的上方,所述頂蓋位于所述第二傳送裝置和所述極化組件之間,所述承載臺在第二傳送裝置作用下傳輸到預設的第二位置后,所述第二頂升裝置升高穿過第二傳送裝置并插入頂升孔,使所述承載臺升高并和所述頂蓋接觸,所述頂蓋把所述承載臺上待極化件的接地引腳覆蓋并露出所述待極化件的高分子薄膜,所述頂蓋的導電片同時和接地引腳、承載槽的側面的承載電極電性接觸,所述第二頂升裝置的接地導線和接地孔的底部的所述承載電極接觸,所述極化組件用于對所述高分子薄膜進行極化。
7.根據權利要求4所述的極化設備,其特征在于:所述轉移臺包括第三傳送裝置和第三頂升裝置,所述第三頂升裝置位于所述第三傳送裝置的下方,所述承載臺在第三傳送裝置作用下傳輸到預設的第三位置后,所述第三頂升裝置機構升高穿過第三傳送裝置和頂升孔,使所述承載臺升高,外部的第二輸送裝置把所述待極化件轉移走。
8.根據權利要求6所述的極化設備,其特征在于:所述極化組件包括多個陣列排布的極化模塊,所述極化模塊包括高壓電場端和低壓電場端,所述低壓電場端位于所述頂蓋和所述高壓電場端之間。
9.根據權利要求8所述的極化設備,其特征在于:所述高壓電場端電勢比所述低壓電場端的電勢高,所述高壓電場端的電勢為5-50kV,和低壓電場端的電勢為0.3-40kV。
10.根據權利要求5所述的極化設備,其特征在于:所述第一傳送裝置包括多個間隔設置的滾輪,所述滾輪之間存在縫隙,所述縫隙供所述第一頂升裝置穿過。
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