[發明專利]一種降低扇出型封裝應力的方法及其應用的塑封模具有效
| 申請號: | 201911260003.8 | 申請日: | 2019-12-10 |
| 公開(公告)號: | CN111128765B | 公開(公告)日: | 2021-10-29 |
| 發明(設計)人: | 楊斌;匡自亮;李潮;崔成強 | 申請(專利權)人: | 廣東佛智芯微電子技術研究有限公司;廣東芯華微電子技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 廣州鼎賢知識產權代理有限公司 44502 | 代理人: | 劉莉梅 |
| 地址: | 528225 廣東省佛山市南海區獅山鎮*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 降低 扇出型 封裝 應力 方法 及其 應用 塑封 模具 | ||
1.一種降低扇出型封裝應力的方法,其特征在于,提供塑封模具,在所述塑封模具的塑封槽的槽底與預塑封的芯片錯開的位置凸設若干冷卻針,并使所述冷卻針的長度小于所述塑封槽的深度,采用所述塑封模具對貼裝于載板上的若干芯片進行塑封,包括以下步驟:
S1、提供所述塑封模具,所述塑封模具具有可開合的第一模板和第二模板,所述第一模板正對所述第二模板的一側設有一塑封槽,在所述塑封槽的槽底增設若干冷卻針;
S2、提供所述載板和若干所述芯片,將所述芯片通過臨時鍵合膠間隔貼裝于所述載板上,制得芯片貼裝結構;
S3、將所述芯片貼裝結構置于所述第二模板上吸附固定,并在所述芯片貼裝結構或者塑封槽的槽底均勻撒上塑封料;
S4、加熱使所述塑封料融化,并合模固化,然后開模。
2.根據權利要求1所述的降低扇出型封裝應力的方法,其特征在于,合模時,所述冷卻針位于相鄰兩個所述芯片之間。
3.根據權利要求1所述的降低扇出型封裝應力的方法,其特征在于,合模時,所述冷卻針位于相鄰兩個所述芯片之間以及所述芯片與所述塑封槽的側壁之間,且鄰近所述塑封槽的側壁的所述冷卻針和與其最近的所述芯片之間的距離為0.2~1.2mm。
4.根據權利要求1所述的降低扇出型封裝應力的方法,其特征在于,所述冷卻針的高度為所述塑封料固化后的厚度的80~90%。
5.根據權利要求4所述的降低扇出型封裝應力的方法,其特征在于,所述冷卻針包括錐形、棱柱形、棱錐型或者長方體結構中的任一種結構或任兩種結構,所述冷卻針為錐形結構時,其錐度為15~90°;所述冷卻針為長方體結構時,其長度為所述芯片長度的80~110%。
6.根據權利要求1所述的降低扇出型封裝應力的方法,其特征在于,所述塑封料壓合固化的時間為30~120s。
7.一種塑封模具,應用于權利要求1至6任一項所述的降低扇出型封裝應力的方法中,包括可開合的第一模板和第二模板,所述第一模板正對所述第二模板的一側具有一塑封槽,其特征在于,所述塑封槽的槽底間隔設有若干冷卻針,所述冷卻針的高度小于所述塑封槽的深度。
8.根據權利要求7所述的塑封模具,其特征在于,所述塑封槽包括第一凹槽和環設于所述第一凹槽的槽口處的臺階,所述冷卻針的高度小于所述第一凹槽的深度。
9.根據權利要求7所述的塑封模具,其特征在于,還包括一拉桿,所述拉桿設置于所述第一模板背離所述第二模板的一側,并位于所述塑封槽的中心處。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





