本發明提供一種運送系統以及運送控制方法，能夠以簡單的構成高精度地進行支承基板的手的位置的校準。運送系統(2)包括：手(30)，支承作為運送對象的工件(W)；臂(40)，使手(30)移動；掃描控制部(113)，通過臂(40)使手(30)沿與邊(33a)和邊(33b)交叉的掃描方向移動，以使被固定于手(30)的彼此不平行的邊(33a)和邊(33b)通過工件(W)的運送路徑中的已知的基準位置(RP)；以及位置檢測部(114)，基于當掃描控制部(113)使手(30)移動時邊(33a)到達基準位置(RP)的定時以及邊(33b)到達基準位置(RP)的定時來檢測在與掃描方向交叉的方向上的手(30)的位置偏移。

技術領域

本公開涉及運送系統以及運送控制方法。

背景技術

在專利文獻1中，公開了以下方法：代替晶片而將與實物晶片相同尺寸的教示夾具配置在處理裝置等，通過設置于機器人的末端執行器的傳感器檢測該教示夾具的位置，在機器人中教示位置。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2005-123261號公報。

發明內容

本公開的目的在于提供以簡單的構成高精度地對支承基板的手的位置進行校準的有效的運送系統。

本公開的一個方面涉及的運送系統包括：手，支承作為運送對象的基板；臂，使所述手移動；掃描控制部，使手通過臂沿與第一線和第二線交叉的掃描方向移動，以使被固定于手的彼此不平行的第一線和第二線通過基板的運送路徑中的已知的基準位置；以及位置檢測部，基于當掃描控制部使手移動時第一線到達基準位置的定時以及第二線到達基準位置的定時來檢測在與掃描方向交叉的方向上的手的位置偏移。

本公開的其他方面涉及的運送控制方法包括：使支承作為運送對象的基板的手通過臂沿與第一線和第二線交叉的掃描方向移動，以使被固定于手的彼此不平行的第一線和第二線通過基板的運送路徑中的已知的基準位置；以及基于當手沿掃描方向移動時第一線到達基準位置的定時以及第二線到達基準位置的定時，來檢測在與掃描方向交叉的方向上的手的位置偏移。

根據本公開，能夠提供以簡單的構成高精度地對支承基板的手的位置進行校準的有效的運送系統。

附圖說明

圖1是示出基板處理系統的簡略構成的示意圖；

圖2是處理站的運入口的示意圖；

圖3是例示指標部的放大圖；

圖4是例示控制器的功能性的構成的框圖；

圖5是例示控制器的硬件構成的框圖；

圖6是例示校準步驟的流程圖；

圖7是例示基臺的傾斜檢測步驟的流程圖；

圖8是示出到達位置的坐標與基臺的傾斜的關系的示意圖；

圖9是例示手的位置偏移檢測步驟的流程圖；

圖10是例示第一掃描控制的步驟的流程圖；

圖11是例示第二掃描控制的步驟的流程圖；

圖12是例示第一掃描控制和第二掃描控制中的手的運動的示意圖；

圖13是例示手的位置偏移計算步驟的流程圖；

圖14是例示手的傾斜與修正前后的移動行程的關系的示意圖；

圖15是例示移動行程與手的位置偏移的關系的示意圖；

圖16是例示基于交叉掃描控制的手的位置偏移檢測步驟的流程圖；

圖17是例示第三掃描控制的步驟的流程圖；